Иммерсионная 248-нм литография: дань моде или бюджетное решение?

1174

На сегодняшний день можно считать, что 193-нм литографическое оборудование является основной «рабочей лошадкой» передовых компаний-производителей полупроводниковых интегральных схем. Более того, длившаяся в течение прошлого года борьба иммерсионных технологий с применением 193-нм источников света против 157-нм литографии, как известно, закончилась безоговорочной победой иммерсии. И хотя о 157-нм продолжают говорить в контексте возможной альтернативы таким будущим литографическим технологиям, как электронно-лучевая литография и EUV, никто не мог и предположить, что получившие несколько лет назад широкое распространение, а затем перешедшие в разряд аутсайдеров 248-нм инструменты вновь окажутся востребованными индустрией.

Однако, как сообщает источник, ASML, Canon и Nikon собираются рассмотреть возможность создания 248-нм иммерсионных сканеров, с помощью которых возможно продление жизненного цикла 248-нм литографии до 70-нм норм. Дело в том, что 248-нм литографическое оборудование на данный момент практически выработало свой ресурс масштабирования и не может быть использовано для выпуска чипов по нормам менее 0,13-мкм. Если, конечно же, не пойти на ухищрения, а то, в каком направлении можно развиваться, убедительно указывает успех иммерсионных технологий в 193-нм литографии.

Сообщается, что ASML, Canon и Nikon не собираются выпускать 248-нм литографические сканеры на рынок. Однако ситуация, в которой компании не захотели бы извлечь выгоду, маловероятна, так что скорее всего, производители литографического оборудования смогут заняться модернизацией производственных линий своих клиентов. Опять-таки, не всех, а лишь тех, кого не смогут убедить приобрести более новые 193-нм устройства.

К тому же, нельзя сказать, что 248-нм литография совсем умерла – за водопадом сообщений о 193 и 157-нм технологиях сообщение о том, что 248-нм сканеры пытаются переделать под 100-нм нормы с использованием технологий улучшения ращрешающей способности RET (resolution enhancement techniques) и без всякой иммерсии, осталось без внимания. Что ж, пока трудно сказать, не является ли разработка иммерсионных 248-нм технологий лишь данью моде – все решит экономическая целесообразность.

2 марта 2004

07:18

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

APU игровой приставки Xbox One X называется Scorpio Engine и состоит из 7 млрд транзисторов: Microsoft рассказала о процессоре Scorpio Engine20

Google работает над собственными наушниками с поддержкой Assistant: Google выпустит наушники с поддержкой голосового помощника12

Разные фабрики выпускают отличающиеся друг от друга GPU Vega 10: GPU Vega 10 существует в нескольких вариантах12

Игровой ноутбук HP Omen X позволяет легко модернизировать начинку и заниматься разгоном: В продажу новинка поступит в ноябре11

ПК Dell Alienware Area 51 теперь можно купить с одним из трёх процессоров Intel Skylake-X: Dell обновила Alienware Area 516

Персональный помощник Samsung Bixby запущен в 200 странах мира, но пока понимает всего два языка: Пользователи Galaxy S8 и S8+ могут активировать Bixby нажатием соответствующей кнопки или командой Hi, Bixby17

PNY не увеличила видеокарте GeForce GTX 1060 XLR8 Gaming OC частоту памяти: PNY представила GeForce GTX 1060 XLR8 Gaming OC1

Google готовится выпустить новый хромбук и уменьшенную версию домашнего помощника Home: Google выпустит новый Chromebook Pixel

Фронтальная 3D-камера iPhone 8 опередила конкурентов на два года: Все комплектующие фронтальной камеры Apple будут производиться TSMC46

Партнёр Lenovo опубликовал снимки и параметры смартфона Moto X4 до официального анонса: Moto X4 может в итоге не получить защиты от воды1

Рекламный ролик смартфона Huawei Mate 10 сфокусирован на сдвоенной камере Leica: Цена Huawei Mate 10 составит около 1100 долларов4

Смартфон Sharp FS8008 является новой версией Sharp Aquos S2 с уменьшенным экраном: Основная камера получила два 12-мегапиксельных датчика изображения

Micromax Canvas Infinity — смартфон с дисплеем 18:9, ОС Android 7.1.2 и ценой в 155 долларов: Смартфон Micromax Canvas Infinity оснастили 3 ГБ ОЗУ1

Huawei покажет свой процессор с системой ИИ 2 сентября: Данный процессор будет входить в состав SoC Kirin 9703

Samsung планирует снизить зависимость от Qualcomm уже в смартфоне Galaxy S9: Традиционно Samsung использует однокристальные системы Qualcomm примерно для половины своих флагманских смартфонов серии Galaxy S15

Экран смартфона Elephone S8 занимает 92,4% площади лицевой панели: Цена новинки составляет 280 долларов7

Опубликованы реальные фотографии смартфона Meizu M6 Note: Анонс новинки ожидается завтра

Смартфон Alcatel U5 HD относится к бюджетному сегменту: Cмартфон сохранит пятидюймовый дисплей, разрешение которого было повышено с 854 х 480 до 1280 х 720 пикселей

Появились изображения упаковок настольных процессоров Intel Core i5 и Core i7 восьмого поколения. Core i3 пока ждать не стоит: CPU Intel Core i5 и Core i7 восьмого поколения будут оснащены GPU UHD Graphics 63014

На передней панели корпуса Gigabyte Aorus AC300W разместилось шесть разъёмов : Gigabyte представила корпус Aorus AC300W с подсветкой 6

ОПРОС GOODRAM

Установлен ли в вашем компьютере SSD накопитель?
1318

iXBT TV

  • Электро-Maybach, топовая Nokia и действительно оригинальный смартфон

  • Обзор видеоускорителя AMD Radeon RX Vega 64

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

1212

Календарь

март
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать