Иммерсионная 248-нм литография: дань моде или бюджетное решение?

ПредыдущаяСледующая
1174

На сегодняшний день можно считать, что 193-нм литографическое оборудование является основной «рабочей лошадкой» передовых компаний-производителей полупроводниковых интегральных схем. Более того, длившаяся в течение прошлого года борьба иммерсионных технологий с применением 193-нм источников света против 157-нм литографии, как известно, закончилась безоговорочной победой иммерсии. И хотя о 157-нм продолжают говорить в контексте возможной альтернативы таким будущим литографическим технологиям, как электронно-лучевая литография и EUV, никто не мог и предположить, что получившие несколько лет назад широкое распространение, а затем перешедшие в разряд аутсайдеров 248-нм инструменты вновь окажутся востребованными индустрией.

Однако, как сообщает источник, ASML, Canon и Nikon собираются рассмотреть возможность создания 248-нм иммерсионных сканеров, с помощью которых возможно продление жизненного цикла 248-нм литографии до 70-нм норм. Дело в том, что 248-нм литографическое оборудование на данный момент практически выработало свой ресурс масштабирования и не может быть использовано для выпуска чипов по нормам менее 0,13-мкм. Если, конечно же, не пойти на ухищрения, а то, в каком направлении можно развиваться, убедительно указывает успех иммерсионных технологий в 193-нм литографии.

Сообщается, что ASML, Canon и Nikon не собираются выпускать 248-нм литографические сканеры на рынок. Однако ситуация, в которой компании не захотели бы извлечь выгоду, маловероятна, так что скорее всего, производители литографического оборудования смогут заняться модернизацией производственных линий своих клиентов. Опять-таки, не всех, а лишь тех, кого не смогут убедить приобрести более новые 193-нм устройства.

К тому же, нельзя сказать, что 248-нм литография совсем умерла – за водопадом сообщений о 193 и 157-нм технологиях сообщение о том, что 248-нм сканеры пытаются переделать под 100-нм нормы с использованием технологий улучшения ращрешающей способности RET (resolution enhancement techniques) и без всякой иммерсии, осталось без внимания. Что ж, пока трудно сказать, не является ли разработка иммерсионных 248-нм технологий лишь данью моде – все решит экономическая целесообразность.

2 марта 2004 Г.

07:18

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Все смартфоны с ОС Android отправляют Google данные о своём местоположении, даже когда соответствующая функция отключена: Смартфоны с Android незаконно собирают данные о местоположении пользователей

Смартфон Wileyfox Pro — слабая аппаратная начинка, широкие рамки дисплея и умирающая Windows 10 Mobile: Цена устройства составит около 250 долларов10

Смартфон BlackBerry KeyTwo с 6 ГБ ОЗУ замечен в GeekBench: Все указывает на то, что это преемник BlackBerry Keyone

Uber заплатила хакерам $100 тыс., чтобы скрыть факт кражи данных 50 млн пользователей: Инцидент произошел в октябре прошлого года5

Ноутбук Asus ROG Strix GL702ZC, оснащенный CPU AMD Ryzen 7 1700 и GPU AMD Radeon RX 580, оценен в $1500: Asus ROG Strix GL702ZC можно заказать в США и в Великобритании8

Ноутбук Microsoft Surface Book 2 в играх разряжается, даже будучи подключенным к розетке: Ноутбук Microsoft Surface Book 2 не подходит в качестве геймерского решения20

Apple купила компанию Vrvana, которая специализируется на технологиях дополненной реальности: Технологии Vrvana могут быть использованы Apple при создании своей собственной гарнитуры или очков дополненной реальности5

Смартфон Xiaomi Mi Mix 3 может получить два экрана, один из которых будет занимать всю лицевую панель: Прототип, определенно, заслуживает внимания9

Xiaomi перестанет обновлять прошивки шести смартфонов, но старые модели: Xiaomi «снимет с довольствования» модели Mi 2/2S, Mi 4i, Redmi Note 4G, Redmi 2, Redmi 2 Prime и Mi Note7

Foxconn снова использовала детский труд для сборки смартфонов Apple: В сборке iPhone X на фабрике Foxconn участвовало 3000 школьников93

Показатели Compal, Foxconn и Inventec будут расти благодаря спросу на умные АС: Inventec уже заявила, что планирует прекратить принимать заказы на производство товаров с низкой маржой

Дизайн смартфона Samsung Galaxy S9 раскрыл производитель чехлов: Первое изображение чехла для Samsung Galaxy S9 указывает на наличие разъёма для наушников6

Samsung улучшит работу сканера радужной оболочки глаза и системы распознавания лиц, но лишь на уровне ПО: Samsung хочет улучшить работу своих биометрических систем идентификации17

В Корее началась программа Upgrade to Galaxy, которая позволяет желающим опробовать Galaxy S8 и Note 8: Плата за месячный тест-драйв составит 45 долларов4

Xiaomi открыла третью фабрику в Индии: В данный момент каждую минуту завод выпускает по 7 аккумуляторов

Meizu может отказаться от использования дополнительного дисплея в своих смартфонах: Кроме того, новинка должна получить дисплей с соотношением сторон 18:9 и узкими рамками вокруг экрана2

Чтобы купить Qualcomm компании Broadcom нужно увеличить своё предложение «всего» на 10 долларов за акцию: При цене в 80 долларов за акцию компания Qualcomm согласится на сделку с Broadcom

30 ноября Samsung Bixby получит поддержку третьего языка: О поддержке русского речь пока не идет

Adata XPG Storm — активная система охлаждения для SSD формата M.2, оснащённая вентилятором с огромной скоростью вращения: СО Adata XPG Storm получила вентилятор и подсветку RGB5

Сервер HPE ProLiant DL385 Gen10 с процессорами AMD Epyc установил два новых мировых рекорда: AMD хвастает достижениями серверов на базе её CPU Epyc2

997
1318

iXBT TV

  • Обзор материнской платы Z370 Aorus Gaming 7 под процессоры Coffee Lake

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

1212

Календарь

март
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать