Иммерсионная литография позволит создавать чипы по 35-нм нормам

1174

Исследователям из Рочестерского Технологического Института (Rochester Institute of Technology, RIT) удалось расширить рамки применения использующихся в настоящее время (и, возможно, набивших некоторым промышленникам оскомину) 193-нм литографических сканеров и степперов до 38-нм норм. Это наводит на мысль, что иммерсионная литография (разумеется, получить 38-нм рисунки с помощью 193-нм инструментов было бы невозможно без применения иммерсии — погружения в воду) может оказаться куда более удачной технологией, чем прогнозируется ныне и для норм менее 45 нм, возможно, не придется переходить на 157-нм сканеры или EUV (extreme ultraviolet) устройства.

RIT разработала свой собственный прототип иммерсионного микростеппера с числовой апертурой (numerical aperture) 1,25. По словам Брюса Смита, зам. декана Инженерного Колледжа Рочестерского Института и профессора микроэлектроники (Intel Professor of Microelectronic Engineering), в лабораторных условиях степпер создавал линии толщиной 38 нм.

По мнению Смита, руководящему разработками иммерсионной литографии в RIT, технология становится кандидатом на применение вплоть до 35-нм норм, чье внедрение ожидается в 2011-2013 годах. В течение прошлого года научно-исследовательская деятельность группы Смита финансировалась ASML, International Sematech, SRC (Semiconductor Research Corp.) и DARPA (Defense Advanced Research Projects Agency). В RIT также работают над улучшением характеристик фотомасок и фоторезистивных материалов (фоторезистов).

Прототип степпера RIT немного отличается от традиционного для иммерсионной литографии подхода: вместо погружения всей полупроводниковой пластины в нем используется небольшой дисперсионный патрубок, позволяющий задействовать малое количество воды, создавая что-то вроде локального «душа» (за такой подход всегда ратовала ASML). Вторая проблема, которой уделено большое внимание – образование микропузырьков. Чтобы исключить вероятность возникновения микроскопических пузырьков растворенного в воде газа при работе, используемую в инструменте воду подвергали двойному кипячению (надо полагать, помимо того, что вода там дистиллированная).

Следующий шаг, который могут предпринять исследователи – изменение показателя преломления воды, для чего будут опробованы различные добавки. Что касается последнего прототипа, то первые устройства на его основе могут появиться уже в 2006 году.

26 января 2004

08:58

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Intel планирует выпуск набора системной логики B360: Набор системной логики Intel B360 будет представлен в 2018 году

Ericsson уволит около 25 000 человек: Ericsson сократит почти четверть своего штата сотрудников

Смартфон Asus ZenFone 4 Max Pro выделяется сдвоенной камерой и ёмким аккумулятором: Asus наделила ZenFone 4 Max Pro сдвоенной камерой2

Смартфоны Asus ZenFone 4 Selfie и ZenFone 4 Selfie Pro получили сдвоенные фронтальные камеры: Asus представила смартфоны ZenFone 4 Selfie и ZenFone 4 Selfie Pro

Представлены смартфоны Asus ZenFone 4 и ZenFone 4 Pro : Asus представила семейство смартфонов ZenFone 43

Представлен смартфон Nokia 8: Оснащение Nokia 8 включает сдвоенную камеру с объективами Zeiss3

AMD выпустила драйвер, оптимизированный для добычи криптовалют : AMD поддержала майнеров специальным драйвером 6

Названа дата начала продаж и цена объектива Zeiss Milvus 1.4/35: Объектив Zeiss Milvus 1.4/35 выпускается в вариантах ZE и ZF.24

Корпусные вентиляторы Scythe Kaze Flex 120 основаны на подшипнике Sealed Precision FDB: Вентиляторы Scythe Kaze Flex 120 оценены в 8 евро3

Умные часы Apple Watch 3 не получат совместимости с Android и возможности автономно совершать звонки : Умные часы Apple Watch 3 нельзя будет использовать с Android10

Цена компьютерного корпуса Phanteks Enthoo Evolv ITX Tempered Glass Edition зависит от его цвета: Боковая стенка компьютерного корпуса Phanteks Enthoo Evolv ITX Tempered Glass Edition изготовлена из закаленного стекла

Intel раскрыла параметры процессоров Core восьмого поколения на закрытой презентации: CPU Intel Core i7-8700 будет иметь TDP 65 Вт15

Почти все основные бесфабричные разработчики микросхем в прошлом квартале показали рост выручки: Лидером среди бесфабричных разработчиков ИС стала Broadcom Limited1

Анонсированы продажи объектива Voigtlander Ultron 40mm F2 SL IIS Aspherical: Цена объектива Voigtlander Ultron 40mm F2 SL IIS Aspherical примерно равна $5452

Sharp готовит ещё один безрамочный смартфон, который возродит идеи модели Aquos Crystal: Новый безрамочный смартфон Sharp не получит экран Free Form Display10

Цены на твердотельные накопители выросли на 20% с начала текущего года: Цены на SSD продолжают расти14

Опубликованы официальные изображения смартфона LG V30 и сравнение с предшественниками: Смартфон будет представлен в конце месяца7

Motorola запатентовала экран для смартфонов, который сможет восстанавливаться от трещин: Возможно, полимерное покрытие дисплея будет восприниматься на ощупь не так комфортно, как привычное стекло9

Ford запатентовала съемные педали и руль для своих будущих автомобилей: Стоит отметить, что пока что это только патент11

Безрамочный смартфон Umidigi S2 Pro получит 6 ГБ ОЗУ и аккумулятор емкостью 5100 мА•ч: Umidigi утверждает, что это первый безрамочный смартфон с таким высоким показателем автономности5

Финансовые показатели Cisco снизились: Cisco отчиталась за 2017 финансовый год11

Polaroid представила смартфоны Cosmo K и K Plus, а также планшет Jet C7: Цены не сообщаются2

Продажи смартфонов в Индии в прошлом квартале выросли всего на 1,6% : Лидером рынка Индии продолжает оставаться Samsung4

Масштабное отключение электричества на Тайване не отразилось на производстве новых смартфонов iPhone: Отключение света ощутили жители около 7 млн домов15

В США отзывают аккумуляторы для смартфонов Samsung Galaxy Note 4 из-за риска возгорания: Основанием для начала отзывной кампании послужил всего один случай перегрева, в ходе которого никто не пострадал41

По слухам, умные часы Apple Watch Series 3 поступят в продажу в сентябре: Аналитики уверены, что Apple Watch Series 3 с модемом LTE будут пользоваться большим спросом2

Опубликованы шпионские фото телевизора Apple [Обновлено]: По еще одной версии, это может быть не телевизор, а профессиональный монитор для пользователей Mac11

Анонс Xiaomi Redmi Note 5A намечен на 21 августа: На официальном изображении устройства, которое опубликовали в Weibo, мы видим доступные цветовые варианты1

В мониторе ViewSonic VP2785-4K установлена 27-дюймовая панель 4К типа IPS: Рекомендованная цена ViewSonic VP2785-4K — $120012

Компания Jawbone Health Hub собиралась сотрудничать с Microsoft, чтобы заполучить её корпоративных клиентов : Стали известны планы компании Jawbone Health Hub

29 августа MediaTek представит однокристальные системы Helio P23 и Helio P30 : SoC Helio P23 и Helio P30 анонсируют через две недели2

Galax Graphics Card Power Board — внешняя плата для экстремального разгона видеокарт, оснащённая 16-фазной подсистемой питания: Galax представила плату Graphics Card Power Board и стакан для жидкого азота5

Здравоохранение станет основным фактором роста рынка носимой электроники в ближайшем будущем: Рынок носимой электроники будет расти за счёт медицинских возможностей2

ВИКТОРИНА ASUSTOR

Процессор с какой архитектурой установлен в ASUSTOR AS6302T, благодаря которому производительно выросла на 30% по сравнению с прошлым поколением?
1318

iXBT TV

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

  • Обзор электрической скороварки Unit USP-1090D: готовим под давлением

  • Обзор материнской платы Gigabyte GA-Z270-Gaming K3 c возможностью подъема напряжения на USB-портах

1212

Календарь

январь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать