Иммерсионная литография позволит создавать чипы по 35-нм нормам

1174

Исследователям из Рочестерского Технологического Института (Rochester Institute of Technology, RIT) удалось расширить рамки применения использующихся в настоящее время (и, возможно, набивших некоторым промышленникам оскомину) 193-нм литографических сканеров и степперов до 38-нм норм. Это наводит на мысль, что иммерсионная литография (разумеется, получить 38-нм рисунки с помощью 193-нм инструментов было бы невозможно без применения иммерсии — погружения в воду) может оказаться куда более удачной технологией, чем прогнозируется ныне и для норм менее 45 нм, возможно, не придется переходить на 157-нм сканеры или EUV (extreme ultraviolet) устройства.

RIT разработала свой собственный прототип иммерсионного микростеппера с числовой апертурой (numerical aperture) 1,25. По словам Брюса Смита, зам. декана Инженерного Колледжа Рочестерского Института и профессора микроэлектроники (Intel Professor of Microelectronic Engineering), в лабораторных условиях степпер создавал линии толщиной 38 нм.

По мнению Смита, руководящему разработками иммерсионной литографии в RIT, технология становится кандидатом на применение вплоть до 35-нм норм, чье внедрение ожидается в 2011-2013 годах. В течение прошлого года научно-исследовательская деятельность группы Смита финансировалась ASML, International Sematech, SRC (Semiconductor Research Corp.) и DARPA (Defense Advanced Research Projects Agency). В RIT также работают над улучшением характеристик фотомасок и фоторезистивных материалов (фоторезистов).

Прототип степпера RIT немного отличается от традиционного для иммерсионной литографии подхода: вместо погружения всей полупроводниковой пластины в нем используется небольшой дисперсионный патрубок, позволяющий задействовать малое количество воды, создавая что-то вроде локального «душа» (за такой подход всегда ратовала ASML). Вторая проблема, которой уделено большое внимание – образование микропузырьков. Чтобы исключить вероятность возникновения микроскопических пузырьков растворенного в воде газа при работе, используемую в инструменте воду подвергали двойному кипячению (надо полагать, помимо того, что вода там дистиллированная).

Следующий шаг, который могут предпринять исследователи – изменение показателя преломления воды, для чего будут опробованы различные добавки. Что касается последнего прототипа, то первые устройства на его основе могут появиться уже в 2006 году.

26 января 2004 Г.

08:58

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Результаты GeForce GTX 1070 Ti в ПО 3DMark на 6-10% выше, чем у разогнанной GTX 1070: GeForce GTX 1070 Ti засветилась в 3DMark

Samsung прекращает выпуск небольших телевизоров диагональю 20-30 дюймов: Постепенно акцент будет смещаться в сторону больших моделей диагональю 60 и более дюймов разрешением 4К7

2 ноября AMD проведёт закрытое мероприятие, посвящённое мобильным APU Ryzen: Новые подробности о мобильных APU Ryzen могут появиться 2 ноября1

Национальная ассоциация телерадиовещателей просит Apple добавить приемник FM в новые iPhone: Ассоциация поставила под сомнение предыдущее заявление Apple9

Смартфон Echo Horizon превзошел ожидания, представлен Echo Horizon Lite: Цена Echo Horizon Lite составляет 130 евро

Соотношение сторон экрана бюджетного смартфона Gionee F205 составляет 18:9: Gionee F205 базируется на SoC MediaTek MT67393

LG и Qualcomm будут вместе работать над технологиями для беспилотных автомобилей: Обе компании планируют возглавить цепочку поставщиков комплектующих для самоуправляемых автомобилей

Представлена камера Samsung 360 Round, оснащенная 17 объективами: Samsung 360 Round поступит в продажу в октябре

Samsung Bixby 2.0 — всё тот же голосовой помощник, но теперь нацеленный на более широкий спектр устройств: Samsung представила платформу Bixby 2.01

Gartner считает, что iPhone X подстегнет продажи в мобильной индустрии в 2018 году: Продажи мобильных телефонов увеличатся на 2,4% и составят 1,9 млрд единиц3

Samsung приступила к разработке Galaxy Note9, думая над расширением перечня возможностей S Pen: Напомним, в следующем году в линейке Galaxy Note может выйти первый смартфон компании со сгибающимся дисплеем17

В Китае Huawei Mate 10 выйдет уже завтра, пользователям предложат еще две версии: Huawei Mate 10 Pro и Huawei Mate 10 Porsche Design поступят в пролажу в середине ноября5

Смартфон HTC U11 Plus засветился в GFXBench и Geekbench: В Geekbench смартфон набрал 1920 и 5765 баллов в однопоточном и многопоточном тестах соответственно1

Представлен смартфон Nokia 7: SoC Snapdragon 630, защищенное исполнение и задняя панель под стеклом: Nokia 7 оценена в эквивалент $3808

Xiaomi Redmi Note 5 и Redmi 5 Plus будут представлены до 11 ноября: Более доступная модель Xiaomi Redmi 5 Plus получит Soc Snapdragon 450 и будет стоить около 120 долларов

Zotac GeForce GTX 1080 Ti ArcticStorm Mini — самая маленькая 3D-карта GeForce GTX 1080 Ti: 3D-карта Zotac GeForce GTX 1080 Ti ArcticStorm Mini оснащена водоблоком11

У побережья Шотландии заработала первая в мире плавучая ветряная электростанция: Hywind Scotland может обеспечить электричеством 20 000 домохозяйств43

Своя гарнитура смешанной реальности появилась и у Fujitsu: Новинка, названная Win MR, пока доступна для заказа только в Японии

LG V30 с честью выдержал испытания блогера JerryRigEverything: LG V30 сложно погнуть 9

В рейтинге Greenpeace компания Apple заняла второе место, а Samsung — третье, но с конца: Greenpeace оценила крупнейшие IT-компании 50

Модуль Moto Smart Speaker для смартфонов Moto Z оснащён парой стереодинамиков и поддерживает Amazon Alexa: Модуль Moto Smart Speaker оценили в 150 долларов1

Снимок безрамочного смартфона Meizu демонстрирует наличие кнопки mBack, несмотря на дисплей 18:9: Meizu выпустит безрамочный смартфон с физической кнопкой mBack8

997
1318

iXBT TV

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-A10 формата APS-C со сменными объективами

  • Планшеты для подводного чтения, дешевый безрамочный смартфон и автономная VR-гарнитура

  • Обзор 3D-принтера Funtastique Evo: дешевая, но вполне функциональная DIY-модель

  • Обзор робота-пылесоса Polaris PVCR 0920WV Rufer с функцией влажной протирки полов

  • Новинки Google на любой вкус: Pixel 2, Pixel 2 XL, Pixelbook, Clip, Home Mini и Max

  • Обзор водонепроницаемого бинокля Canon 10x42L IS WP с оптическим стабилизатором

  • Обзор компактного вертикального пылесоса Kitfort КТ-525

  • Обзор 15-дюймового игрового ноутбука MSI GE63VR 7RF Raider 4K с 4K-экраном

  • Ракета вместо самолета, умные AC Amazon, робот-мяч

  • Обзор парогенератора MIE Stiro Pro для глажки, отпаривания и уборки дома

  • Обзор изогнутого 37,5-дюймового IPS-монитора Acer XR382CQK с соотношением сторон 21:9

  • Обзор робота-полотера Everybot RS500

1212

Календарь

январь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать