Иммерсионные и импринт-литографические технологии вытеснят EUV?

1174

Пусть в заголовках новостей все чаще мелькает иммерсионная литография, есть люди, считающие, что будущее за новой восходящей звездой – нано-импринт (nano-imprint) литографией, получившей признание на последней конференции и включенной в роадмэп ITRS (International Roadmap for Semiconductors). По версии ITRS, которой придерживается главный сторонник нано-импринт литографии MII (Molecular Imprints Inc.), новая технология может быть использована для производства чипов по 32-нм нормам где-то к 2009 году.

Появление нано-импринт литографии в роадмэпе ITRS вновь поднимает вопрос о том, успеют ли сторонники жестко-ультрафиолетовой (EUV) литографии подготовить свою технологию к внедрению в срок. Не так давно Intel, возглавляющая группу сторонников EUV-литографии, была вынуждена отодвинуть сроки ее появления на 2009 год вместо 2007. Стремительно развивающиеся иммерсионные технологии способны вообще поставить крест на EUV. Как мы сообщали вчера, иммерсионные литографические инструменты должны получить распространение уже к 2005-2006 году.

Нано-импринт литография на сегодняшний день рассматривается как нишевое решение для изготовления микро электромеханических устройств (MEMS), оптоэлектронных чипов и прочих продуктов. Однако исследуются возможности использования этой технологии и в других областях, в частности, по некоторым данным, Intel сейчас изучает перспективы применения ее для выпуска микропроцессоров.

Технологии нано-импринт литографии развивают небольшие пока компании EV Group, MII, Nanonex и Obducat. Из этих компаний наибольшую активность проявляет уже упоминавшаяся выше MII – в частности, на ее оборудовании Motorola продемонстрировала возможность создания 30-нм рисунков на полупроводниковой подложке, и это, по словам MII, еще не предел. MII также активно сотрудничает с немецким производителем оптики Carl Zeiss SMT и японской компанией Hakuto. Ну, а в качестве адвоката технологии перед ITRS выступила ITWG (Lithography International Technology Working Group).

3 декабря 2003 Г.

07:33

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

В рейтинге Greenpeace компания Apple заняла второе место, а Samsung — третье, но с конца: Greenpeace оценила крупнейшие IT-компании 7

Модуль Moto Smart Speaker для смартфонов Moto Z оснащён парой стереодинамиков и поддерживает Amazon Alexa: Модуль Moto Smart Speaker оценили в 150 долларов

Снимок безрамочного смартфона Meizu демонстрирует наличие кнопки mBack, несмотря на дисплей 18:9: Meizu выпустит безрамочный смартфон с физической кнопкой mBack4

Представлены компьютерные корпуса NZXT H700i, H400i и H200i : В корпуса NZXT H700i, H400i и H200i встроен цифровой контроллер вентиляторов и подсветки5

До конца года Intel выпустит «первую в отрасли микросхему для обработки нейронных сетей» — Intel Nervana Neural Network Processor: Intel Nervana Neural Network Processor — новое имя семейства ускорителей Lake Crest13

Nanya вернется на рынок серверной памяти DRAM: В текущем квартале должен начаться серийный выпуск 20-нанометровых микросхем DDR4 плотностью 8 Гбит

ПО Geekbench указывает на наличие в смартфоне Xiaomi Redmi Note 5 старой платформы Qualcomm, но результаты тестов этому не соответствуют: Xiaomi Redmi Note 5 появился в базе Geekbench4

Представлен объектив Zeiss Milvus 1.4/25 : Объектив Zeiss Milvus 1.4/25 оценен производителем в 2399 евро11

Всего за один день рыночная стоимость IBM выросла на 12,6 млрд долларов: Акции IBM, с начала года подешевевшие на 12%, показали крупнейший за последние годы рост13

997
1318

iXBT TV

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-A10 формата APS-C со сменными объективами

  • Планшеты для подводного чтения, дешевый безрамочный смартфон и автономная VR-гарнитура

  • Обзор 3D-принтера Funtastique Evo: дешевая, но вполне функциональная DIY-модель

  • Обзор робота-пылесоса Polaris PVCR 0920WV Rufer с функцией влажной протирки полов

  • Новинки Google на любой вкус: Pixel 2, Pixel 2 XL, Pixelbook, Clip, Home Mini и Max

  • Обзор водонепроницаемого бинокля Canon 10x42L IS WP с оптическим стабилизатором

  • Обзор компактного вертикального пылесоса Kitfort КТ-525

  • Обзор 15-дюймового игрового ноутбука MSI GE63VR 7RF Raider 4K с 4K-экраном

  • Ракета вместо самолета, умные AC Amazon, робот-мяч

  • Обзор парогенератора MIE Stiro Pro для глажки, отпаривания и уборки дома

  • Обзор изогнутого 37,5-дюймового IPS-монитора Acer XR382CQK с соотношением сторон 21:9

  • Обзор робота-полотера Everybot RS500

1212

Календарь

декабрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать