Главная » Новости » 2003 » 10 » 12 12 октября 2003

EUVL: в коммерческую эксплуатацию к 2009 году, несмотря на трудности

Новые приятные и неприятные сюрпризы для будущего EUV-литографии получили огласку на международном симпозиуме по ультрафиолетовой литографии EUVL в Антверпене. В симпозиуме приняло участие около 350 экспертов из примерно 80 стран.

До 2009 года, когда EUV согласно утвержденным планам должна быть внедрена в коммерческую эксплуатацию, нужно решить шесть критических проблем: малая мощность и недолговечность источников ультрафиолетового излучения, искажающие фотомаски, искажение сеток при обработке чипов, недолговечность оптики, малая разрешающая способность фоторезиста.

Впрочем, первые опытные производственные линии вскоре должны будут установлены ASML, а Nikon и Canon подготовили несколько прототипов оптических систем. Так что посмотрим, что из всего этого получится через год, на следующем EUVL-симпозиуме.

Источник: Parasound

08:44 12.10.2003
Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



ОПРОС Micromax

С какой периодичностью вы меняете смартфоны?
октябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2003

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.