Canon остановила свой выбор на фториде кальция

ПредыдущаяСледующая
1174

Производитель линз для литографического оборудования компания Canon сообщила о твердом решении продолжать работы только со фторидом кальция (CaF2) на предмет его использования в 157 нм лазерах, несмотря на его высокую стоимость. Помимо того, что такие линзы остро необходимы для нынешних 193 нм лазеров, которые будут использоваться при выпуске чипов с 0,10 мкм нормами техпроцесса, Canon намерена выпускать фторид-кальциевые линзы для 157 нм лазеров, нацеленных на применение в технологическом процессе с нормами 0,07 мкм. Этот процесс, как ожидается, будет достаточно распространен уже в 2005 году.

Многие компании в настоящее время заняты поиском альтернативных материалов для линз, поскольку использование фторида кальция вызывает две серьезных проблемы: это, во-первых, существенный рост стоимости комплекта оборудования в целом за счет дороговизны CaF2 линз, во-вторых, из-за не совсем устраивающего разработчиков внутреннего свойства материала – двойного преломления лучей. Это создает дополнительные проблемы из-за расщепления неполяризованного света при прохождении через линзы, тем самым снижая четкость изображения.

Тем не менее, Canon твердо остановила свой выбор на CaF2, и в настоящее время занята снижением стоимости оборудования за счет уменьшения количества линз в системе, что стало возможным благодаря применению соосных катадиоптрических систем, значительно снижающих потребность в CaF2 линзах. А вот как представитель Canon высказался по поводу альтернативных материалов: "Фторид бария не сможет обеспечить качественного пропускания лучей в диапазоне 157 нм. Плюс к этому, главным его недостатком является в сто раз большая, нежели у фторида кальция, гигроскопичность. Для борьбы с этим понадобилась бы разработка специальных материалов для создания поверхностных пленок. Что касается фторида магния и фторида лития, то их высокий показатель двойного преломления лучей вообще ставит под вопрос применение этих материалов в проекционной оптике".

Источник: Electronic Times

6 августа 2001 Г.

15:58

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Компания Intel анонсировала выпуск своего первого модема 5G: Одновременно был представлен модем LTE Cat-19, получивший обозначение Intel XMM 766020

Jaguar Land Rover начинает испытания самоуправляемых машин на дорогах общего пользования: Испытания будут продолжены в будущем году3

Компания Megabots хочет провести первый в мире турнир по боям огромных роботов: В следующем году может быть проведёт первый турнир по боям гигантских роботов4

Видео дня: робот Boston Dynamics Atlas делает сальто назад: Робот Boston Dynamics Atlas научился запрыгивать на препятствия31

Смартфон Samsung Galaxy J2 Pro в новом поколении наконец-то получит современную платформу: Стали известны детали о смартфонах Samsung Galaxy J2 Pro и Galaxy J5 Prime нового поколения21

Volkswagen собирается выделить на электромобили и самоуправляемые машины более 34 млрд евро: Общая сумма инвестиций на период до 2022 года примерно равна 72 млрд евро6

Китай намерен создать космический корабль с ядерным двигателем: Ядерные космические корабли могут стать реальностью79

PowerColor похвасталась изображениями видеокарты Radeon RX Vega 64 Red Devil: Radeon RX Vega 64 Red Devil получит 12-фазную подсистему питания11

Набор модулей памяти G.Skill Trident Z DDR4-4400 суммарным объемом 32 ГБ работает с задержками CL19-19-19-39: По словам производителя, это самый быстрый набор DDR4 такого объема6

997
1318

iXBT TV

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Active (FC8822/01) с широкой насадкой TriActive XL

  • Обзор видеокамеры Canon XF405: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров

1212

Календарь

август
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать