Главная » Новости » 2001 » 08 » 06 6 августа 2001

Canon остановила свой выбор на фториде кальция

Производитель линз для литографического оборудования компания Canon сообщила о твердом решении продолжать работы только со фторидом кальция (CaF2) на предмет его использования в 157 нм лазерах, несмотря на его высокую стоимость. Помимо того, что такие линзы остро необходимы для нынешних 193 нм лазеров, которые будут использоваться при выпуске чипов с 0,10 мкм нормами техпроцесса, Canon намерена выпускать фторид-кальциевые линзы для 157 нм лазеров, нацеленных на применение в технологическом процессе с нормами 0,07 мкм. Этот процесс, как ожидается, будет достаточно распространен уже в 2005 году.

Многие компании в настоящее время заняты поиском альтернативных материалов для линз, поскольку использование фторида кальция вызывает две серьезных проблемы: это, во-первых, существенный рост стоимости комплекта оборудования в целом за счет дороговизны CaF2 линз, во-вторых, из-за не совсем устраивающего разработчиков внутреннего свойства материала – двойного преломления лучей. Это создает дополнительные проблемы из-за расщепления неполяризованного света при прохождении через линзы, тем самым снижая четкость изображения.

Тем не менее, Canon твердо остановила свой выбор на CaF2, и в настоящее время занята снижением стоимости оборудования за счет уменьшения количества линз в системе, что стало возможным благодаря применению соосных катадиоптрических систем, значительно снижающих потребность в CaF2 линзах. А вот как представитель Canon высказался по поводу альтернативных материалов: "Фторид бария не сможет обеспечить качественного пропускания лучей в диапазоне 157 нм. Плюс к этому, главным его недостатком является в сто раз большая, нежели у фторида кальция, гигроскопичность. Для борьбы с этим понадобилась бы разработка специальных материалов для создания поверхностных пленок. Что касается фторида магния и фторида лития, то их высокий показатель двойного преломления лучей вообще ставит под вопрос применение этих материалов в проекционной оптике".

Источник: Electronic Times

15:58 06.08.2001
Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



ВИКТОРИНА PATRIOT

Какие продукты, помимо компьютерной памяти, представлены в линейке Patriot – Viper Gaming?
август
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2001

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.