Главная » Новости » 2001 » 08 » 09 9 августа 2001

ASML начала поставки системы PAS 5500/800 KrF

Голландская компания ASML Holding NV сообщила о поставке первой литографической системы PAS 5500/800 KrF Deep UV Step and Scan с числовой апертурой (numerical aperture, NA) 0.80. Система имеет разрешение 120 нм и будет использоваться для производства 256 Мбит чипов DRAM и других продуктов памяти – SRAM, флэш-памяти и пр. Производительность платформы PAS 5500/800 – до 115 200 мм пластин в час. Система оборудована линзами StarLith 800 0.8 NA производства Carl Zeiss. В системе используется 20 ваттный фторид-криптоновый (KrF) лазер.

Условия сделки, а также заказчик системы, не сообщаются.

12:26 09.08.2001
Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



ВИКТОРИНА PATRIOT

Какие продукты, помимо компьютерной памяти, представлены в линейке Patriot – Viper Gaming?
август
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2001

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.