Главная » Новости » 2001 » 08 » 30 30 августа 2001

Первые EUV фотошаблоны от Motorola

Motorola объявила о выпуске первых в индустрии EUV фотошаблонов, предназначенных для выпуска чипов с соблюдением норм 0,10 мкм техпроцесса. Работы Motorola производятся в рамках проекта консорциума Extreme Ultraviolet LLC, в который входят Motorola, Intel, AMD, и другие компании.

По заявлению представителей Motorola, к началу 2002 года компанией будет разработана окончательная версия технологии работы со столь прецизионными фотошаблонами, которые на первых порах будут использоваться совместно с экспериментальной EUV альфа-установкой, о запуске которой мы писали 27 февраля.

Необычность сегодняшнего заявления Motorola еще и в том, что, по сообщению разработчиков компании, новые фотошаблоны сочетаются не только с EUV экспериментальными инструментами, но и с ныне применяемым в индустрии оборудованием, и были испытаны на стандартных 6-дюймовых подложках толщиной 0,25 дюйма. Использование новых фотошаблонов в сочетании с нынешним DUV оборудованием удешевит переход на новые нормы техпроцесса и сделает его последовательным.

19:10 30.08.2001
Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



август
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2001

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.