Главная » Новости » 2001 » 09 » 20 20 сентября 2001

Fab 12, TSMC: первые 300 мм сканеры от ASML

ASM Lithography сообщила о начале поставки в адрес фабрики Fab 12 тайваньской TSMC литографических сканеров Twinscan AT:750 для производства 300 мм кремниевых пластин. Уникальность нового оборудования состоит в том, что оно рассчитано на работу одновременно с двумя пластинами. Пока пластина, находящаяся на первой стадии обработки, экспонируется, другая подложка в это время выравнивается и "размечается" интерферометром, что здорово сокращает непродуктивные затраты времени.

С прошлого года TSMC уже использует в своем производственном процессе пилотные образцы 300 мм платформы Twinscan AT:700, обрабатывающие по одной пластине за этап и очень хорошо отзывается об этом оборудовании. Конечно, такой стратегический секрет, как количество поставляемых ASML сканеров, держится в строгой тайне.

Источник: Silicon Strategies

02:13 20.09.2001
Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



сентябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2001

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.