Новые 0,10 мкм технологии из Японии

1174

Японцы, которые, как всегда, пытаются быть "впереди паровоза", на днях отрапортовали о новых достижениях в области разработки <0,10 мкм техпроцессов. Tokyo Electron и Toshiba сообщили о том, что вместе они смогли достичь еще меньших коэффициентов в диэлектриках для использования в чипах, сделанных по 0,10 мкм технологии и меньше. А Fujitsu заявила, что она улучшила процесс отжига, основанный на применении дейтерия, который должен решить проблему устойчивости к "горячим носителям заряда" в будущих чипах.

Если вернутся к первым двум компаниям, то их новый метод нанесения диэлектриков с низким числом k на поверхность медных соединений позволяет осуществлять этот процесс с помощью 19-электронного пучка, который может снизить время затвердевания меди до 2 минут при температуре в 35C. А это гораздо быстрее, чем 30 мин в специальной печи при температуре в 400C, когда нельзя избавится от частичной диффузии меди в диэлектрик. Короче говоря, все эти манипуляции позволяют достичь стабильного показателя k в 2,91, что как раз подходит для 0,10 мкм процесса.

Что же касается перспектив этого дела, то, естественно, пока что все таинство происходит лишь в лаборатории. Но сомнений в том, что поставить на широкую ногу подобное производство при современных технологиях труда не составит, нет ни у кого. Toshiba, кстати, уже планирует начать поставки пробного оборудования на свои фабрики уже весной 2002 года.

Что же касается разработок Fujitsu, то они, в принципе, не новы - американцы до отжига дейтерием додумались раньше. Однако японцы с их упорством все же первыми достигли практических результатов. В лаборатории Fujitsu 0,13 мкм процесс уже сейчас использует такой отжиг, хотя, без него, грубо говоря, пока можно и обойтись, как поступили другие компании. Однако тесты показали, что с помощью такого технологического процесса можно увеличить жизнь микросхемы почти в два раза по сравнению с обычной обработкой горячим водородом. На самом деле, дейтериевая технология уже сейчас применима к чипам, сделанным по 0,09 мкм технологическим нормам.

Однако, как и все новое, дейтериевый отжиг пока что дорог и со сроками его введения в массовое производство тоже не все ясно... Ясно одно - за этой технологией будущее.

8 ноября 2001

01:54

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

На передней панели корпуса Gigabyte Aorus AC300W разместилось шесть разъёмов : Gigabyte представила корпус Aorus AC300W с подсветкой

Представлена операционная система Android 8.0 Oreo : Google представила Android Oreo19

Nikon сосредоточится на поддержке в камерах видео 8K : Другой приоритет — выпуск медицинского оборудования18

В конфигурацию ноутбука Acer Nitro 5 Spin входит процессор Intel Core восьмого поколения: Продажи новинки должны начаться в октябре, по цене $9994

Серия массивов твердотельных накопителей IntelliFlash N пополнила каталог Tegile Systems: Производитель называет IntelliFlash N первым унифицированным массивом NVMe корпоративного класса

TowerJazz и Tacoma Semiconductor Technology договорились построить фабрику в Китае: Израильская компания поделится опытом, Tacoma Semiconductor Technology возьмет на себя расходы1

Новому смартфону Apple iPhone приписывают способность распознать лицо пользователя «за миллионные доли секунды»: Кроме того, 3D-сканер будет использоваться в приложениях дополненной реальности35

DockCase — чехол и стыковочная станция для ноутбука Apple MacBook Pro: Минимальный взнос, позволяющий надеяться на получение DockCase в ноябре 2017 года, равен $794

Представлен смартфон Xiaomi Redmi Note 5A, который оснастили 16-мегапиксельной фронтальной камерой : Xiaomi Redmi Note 5A оценён в 135 долларов 3

1318

iXBT TV

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

1212

Календарь

ноябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать