На многомиллиардном рынке литографического оборудования идет своя война. Вчера Nikon подала жалобу на ASML в Международную Торговую Комиссию (ITC), в которой она пытается предотвратить поставку самых новых устройств литографии PAS 5500 и семейства сканеров TwinScan (PAS 5500/1100; PAS 5500/750F; PAS 5500/550D; PAS 5500/400C; Twinscan AT 750; Twinscan AT 700S; Twinscan AT 400) от ASML в США.
Этот ход может повлиять на клиентов ASML в США - Advanced Micro Devices, IBM Microelectronics, Intel, Micron и других.
Nikon убеждена, что ASML нарушает ее некоторые патенты США и продолжает настаивать на невозможности продажи сканеров и степперов (установка совмещения и последовательного шагового мультиплицирования на пластину) производства ASML.
Японская компания подала жалобу в ITC, а также возбудила дело в Северокалифорнийском окружном суде США.
В жалобе и судебном иске фигурируют шесть патентов, полученных Nikon: 5,638,211; 6,233,041; 6,008,500; 6,271,640; 6,323,935; и 6,255,796.
Представители ASML отказались давать какие-либо комментарии. Nikon тоже пока официальных заявлений для прессы не делает.
Источник: Silicon Strategies