193 нм до предела!

ПредыдущаяСледующая
1174

Исследовательская группа IMEC анонсировала о своих намерениях разработать технологии и устройства, позволяющие применять 193 нм литографию для производства ИС по нормам гораздо менее 0,1 мкм. Это правильное направление для исследовательских работ, считает большинство аналитиков. Ведь, несмотря на то, что длинна волны в 157 нм, вроде бы, уже недалека от воплощения в реальных литографических установках, много элементов литографии с использованием 157 нм еще не доработаны. К примеру, нужны будут очень качественные линзы со сверх-высокой числовой апертурой, новые формулы резистов и т.д.

Как мы уже отмечали, Международный Технологический полупроводниковый роадмэп (International Technology Roadmap for Semiconductors, ITRS) подразумевает переход на 157 нм оборудование ближе к 2007 году, с введением 0,065 мкм техпроцесса.

До этого времени необходимо приспособить 193 нм для работы с разрешениями 0,09 - 0,07 мкм, чем и собирается заняться IMEC.

В исследовании будет использоваться степ-скан агрегат ASML PAS5500/1100, соединенный с линией покрытия резистом ACT8 от Tokyo Electron. Все это будет установлено на пилотном 200 мм конвейере IMEC.

Сама же IMEC предлагает всем компаниям, непосредственно связанным с производством/разработкой литографического и связанного с ним оборудования участвовать в программе.

13 февраля 2002 Г.

12:02

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Apple регистрирует изобразительный товарный знак, обозначающий машинное обучение: Заявки поданы в США, Европе и Гонконге

В тесте VRMark Cyan Room 3D-карты AMD Radeon RX Vega 64, RX Vega 56 и RX 580 опережают продукцию конкурента: По словам AMD, технологии VR имеют большой потенциал не только в играх, но и в других сферах применения4

Модель EnvisionTEC Aria открыла новое поколение настольных 3D-принтеров начального уровня : Принтер EnvisionTEC Aria стоит $6999 1

Samsung покажет телевизоры micro-LED на CES 2018: Consumer Electronics Show 2018 пройдет с 9 по 12 января10

Apple запатентовала еще одно устройство со сгибающимся дисплеем: Apple действительно прорабатывает различные прототипы сгибающегося iPhone26

Безрамочный смартфон 360 N6 Pro, оснащенный SoC Snapdragon 660 и 6 ГБ ОЗУ, набрал более 110 тыс. баллов в AnTuTu: Смартфон должны представить 28 ноября

Meiigoo Note8 внешне копирует Samsung Galaxy Note8, при этом смартфон оснащен системой распознавания лиц пользователей: Смартфон получил дисплей с соотношением сторон 18:9, сдвоенную камеру и дактилоскопический датчик на задней панели2

Подводный бокс Nauticam NA-G9 предназначен для камеры Panasonic Lumix DC-G9: Бокс с каталожным номером 17715 оценен производителем в $26502

Смартфон Google Pixel 2 XL хотя бы в тестах JerryRigEverything показал себя лучше младшей модели: Смартфон Google Pixel 2 XL не трескается при попытке его согнуть7

997
1318

iXBT TV

  • Обзор гладильного пресса MIE Romeo II для глажения постельного белья и одежды простых форм

  • Робот-гимнаст, неудачи Microsoft, переносы Apple, электрический трактор

  • Обзор проекционного документ-сканера Doko BS16

  • Обзор материнской платы Z370 Aorus Gaming 7 под процессоры Coffee Lake

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

1212

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать