Новый способ нанесения меди на полупроводник

1174

Исследователи из Texas A&M University (ранее университет назывался "Техасский Университет Агрокультуры и Машиностроения", отсюда и "А", "М" в названии) сообщают, что разработали новый способ нанесения меди на поверхность кристаллов полупроводников - плазменный. При этом нанесение меди на поверхность может проводиться при комнатной температуре.

Обычно алюминиевые проводники наносятся на кристалл травлением. Но поскольку полупроводник образовывает слишком прочные связи с медью, процесс травления медных проводников на поверхности довольно сложен. Поэтому медные проводники обычно наносятся "дамаскированием" (damascene approach, метод "насечек"), правда, не тем "дамаскированием", как при изготовлении мечей: на поверхности кристалла вырезаются каналы, которые наполняются медью, после чего следует СМР-процесс. Однако применение СМР-процесса тоже имеет свои проблемы и, по данным International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) будет трудно применим для 100 нм техпроцессов.

Итак, в новом процессе вместо того, чтобы испарять медь в плазме, вся медная пленка трансформируется в неактивный галогенид меди (бромид или хлорид), формирующий пористый слой на поверхности кристалла. Этот слой потом растворяется слабым раствором HCl. Исследователи считают, что у этого процесса намного выше шансы на успех, чем у альтернативных. Многие процессы наталкиваются на трудность с удалением галогенидов с поверхности, что требует нагрева до температур выше 400C, чтобы получить давление паров выше 1 Торр (1 мм. рт. ст. или 131 Па). Это приводит к ухудшению равномерности нанесения проводников и неоправданному усложнению оборудования.

Исследователи изучили влияние таких параметров, как время нахождения в плазме, давление, мощность, температура; на формирование медного слоя. Температура кристалла напрямую влияет на скорость восстановления меди. Например, при мощности 600 Вт и давлении плазмы в 20 мТорр, если увеличить температуру субстрата с 25 до 100 градусов Цельсия, скорость роста CuCl увеличилась с 600 до 1200 нм/мин. Равномерность слоя также зависит от температуры. Но даже при комнатной температуре исследователи смогли достичь неплохих результатов.


На первом рисунке показано поперечное сечение плазмы меди (400 нм), подверженной воздействию молекулярного хлора при температуре 25 С. Уникальность процесса заключается в том, что окислитель генерируется в плазме и субстрате при постоянной бомбардировке ионами. Однако, при обработке соляной кислотой слой меди может вздуться, что объясняется увеличением объема при проникновении хлора и пористой структурой получившегося слоя.


Исследователи сравнили этот процесс с окислением железа и образованием ржавчины. На втором рисунке показан получаемый образец. Были также исследованы и другие факторы, влияющие на равномерность слоя меди, и составлена некоторая математическая модель.

Сейчас исследователи работают над созданием нанометровых медных проводников.

15 февраля 2002 Г.

04:17

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Введена в строй крупнейшая ветряная электростанция Amazon: Электростанция насчитывает более 100 турбин3

Гарнитура смешанной реальности Samsung HMD Odyssey не выйдет на рынок Европы: В США Samsung HMD Odyssey в комплекте с двумя контроллерами будет предлагаться по цене 499 долларов

Игровой монитор Benq Zowie XL2536 поддерживает технологию DyAc: В мониторе Benq Zowie XL2536 используется жидкокристаллическая панель разрешением Full HD

Испытания блогера JerryRigEverything показали, что смартфон Google Pixel 2 имеет ряд особенностей: Смартфон Google Pixel 2 лучше не гнуть

LG Innotek вошла в состав международной ассоциации CharIN: LG Innotek начала производство комплектующих для автомобильного рынка еще в 2005 году

Xiaomi предлагает умный дверной замок за $256: Дактилоскопический датчик распознает отпечатки пальцев людей в возрасте от 7 до 70 лет с вероятностью ошибки 0,0005%8

Мини-ПК MSI Cubi 3 Silent будут оснащены пассивной системой охлаждения и CPU Intel Kaby Lake: MSI готовит мини-ПК Cubi 3 Silent3

Владельцы Samsung Galaxy S8 и Note8 смогут работать с Linux: В настоящий момент Linux on Galaxy проходит стадию тестирования13

Шасси Streacom BC1 Mini предназначено для малогабаритных систем : Шасси из алюминия весит 805 г1

Система для самоуправляемых автомобилей, создаваемая Apple, представляет собой отдельный блок: Блок, создаваемый в рамках проекта Project Titan, размещается на крыше машины5

Безрамочный смартфон HomTom S9 Plus будет доступен за $160: Смартфон поддерживает режим HDR, панорамную съемку и портретный режим с размытием фона

В Южной Корее создана первая в мире система для липосакции, в которой хирургу помогает искусственный интеллект: Система M.A.I.L создана в сотрудничестве с Microsoft 1

Представлен планшет Chuwi SurBook Mini: Устройство может работать под управлением операционных систем Windows 10 и Ubuntu

General Motors первой начнёт испытания беспилотных машин в Нью-Йорке: В следующем году на улицах Нью-Йорка появятся прототипы беспилотных машин1

Портативные акустические системы Ultimate Ears Blast и Megablast не боятся воды и поддерживают Amazon Alexa: Ultimate Ears Blast и Megablast оцениваются в 230 и 300 долларов соответственно 2

997
1318

iXBT TV

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-A10 формата APS-C со сменными объективами

  • Планшеты для подводного чтения, дешевый безрамочный смартфон и автономная VR-гарнитура

  • Обзор 3D-принтера Funtastique Evo: дешевая, но вполне функциональная DIY-модель

  • Обзор робота-пылесоса Polaris PVCR 0920WV Rufer с функцией влажной протирки полов

  • Новинки Google на любой вкус: Pixel 2, Pixel 2 XL, Pixelbook, Clip, Home Mini и Max

  • Обзор водонепроницаемого бинокля Canon 10x42L IS WP с оптическим стабилизатором

  • Обзор компактного вертикального пылесоса Kitfort КТ-525

  • Обзор 15-дюймового игрового ноутбука MSI GE63VR 7RF Raider 4K с 4K-экраном

  • Ракета вместо самолета, умные AC Amazon, робот-мяч

  • Обзор парогенератора MIE Stiro Pro для глажки, отпаривания и уборки дома

  • Обзор изогнутого 37,5-дюймового IPS-монитора Acer XR382CQK с соотношением сторон 21:9

  • Обзор робота-полотера Everybot RS500

1212

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать