Новые материалы для 157 нм литографической оптики

1174

Компания SCT (Silicon Crystal Technologies) сообщила о получении патента (No. 6334899, название Continuous Crystal Plate Growth Apparatus) на технологию обработки, очистки фторида кальция и роста кристаллов. Эту технологию SCT разрабатывала с 1995 г.

Технология предназначена для очистки фторида кальция, используемого при изготовлении оптических линз для 193 нм и 157 нм литографических инструментов.

Традиционно используемые для видимого спектра линзы из кварцевого стекла не подходят для ультрафиолета, так как имеют слишком большой коэффициент поглощения оптического излучения для длин волн меньше 157 нм. Поэтому разработчикам литографического оборудования для производителей полупроводниковых микросхем приходится искать новые материалы для преодоления этой проблемы. Но с фторидом кальция тоже не все так просто - необходимо, чтобы линзы изготавливались из монокристаллического, очень чистого CaF2. Низкое качество получаемых в настоящее время кристаллов фторида кальция, к сожалению, снижает эффективность применения этого материала.

Кирилл А. Панделисев (Dr. Kiril A. Pandelisev), ведущий научный сотрудник и главный управляющий SCT сообщил, что в лучшем случае из всех кристаллов фторида кальция получается лишь 3-5%, удовлетворяющих требованиям 157-нм оптики. Поэтому был предложен новый метод очистки фторида кальция, позволяющий эффективно и подконтрольно удалить ненужные примеси. К примеру, возможно удаление Эрбия (Er) и Лютеция (Lu), которое позволяет избавиться от флуоресценции на 157 нм, что, в свою очередь, приводит к формированию более контрастного изображения. Очистка от свинца (Pb) дополнительно уменьшает поглощение на 157 нм. Помимо этого, метод SCT позволяет контролировать содержание примесей и, таким образом, влиять на оптические свойства кристалла, в том числе, на характер двойного лучепреломления.

SCT также утверждает, что разработанный способ роста кристаллов может быть использован и для других материалов, не только для фторида кальция. В частности, для роста кристаллов CaxBa1-xF2, CaxSr1-xF2 (1 < x < 0) или других кристаллов, которые невозможно вырастить по методу Бриджмана-Стокбаргера (Bridgman-Stockbarger) из-за проблем сегрегации и переохлаждения при кристаллизации.

Источник: Semiconductor Fabtech

16 февраля 2002 Г.

02:20

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Некоторые смартфоны с Windows 10 Mobile не получат обновления Fall Creators Update: Lumia 640 и 640 XL не получат обновления Fall Creators Update

Смартфон Google Pixel 2 XL заработал у iFixit шесть баллов: iFixit разобрали Google Pixel 2 XL

Apple вдвое уменьшила заказы на смартфоны iPhone 8 до конца года: Apple уменьшает заказы на новые смартфоны17

Поставки игровых мониторов выросли на 350%: В первом полугодии рынок игровых мониторов вырос до 1,1 млн единиц

Компьютерная модель смартфона HTC U11 Plus демонстрирует дизайн новинки: HTC U11 Plus засветился на видео

В Гонконге засветился ноутбук-трансформер на базе процессора Intel Gemini Lake: Представителем линейки Gemini Lake оказался двухъядерный CPU Intel Celeron N4000

Результаты GeForce GTX 1070 Ti в ПО 3DMark на 6-10% выше, чем у разогнанной GTX 1070: GeForce GTX 1070 Ti засветилась в 3DMark4

Samsung прекращает выпуск небольших телевизоров диагональю 20-30 дюймов: Постепенно акцент будет смещаться в сторону больших моделей диагональю 60 и более дюймов разрешением 4К33

2 ноября AMD проведёт закрытое мероприятие, посвящённое мобильным APU Ryzen: Новые подробности о мобильных APU Ryzen могут появиться 2 ноября7

Национальная ассоциация телерадиовещателей просит Apple добавить приемник FM в новые iPhone: Ассоциация поставила под сомнение предыдущее заявление Apple20

Смартфон Echo Horizon превзошел ожидания, представлен Echo Horizon Lite: Цена Echo Horizon Lite составляет 130 евро1

Соотношение сторон экрана бюджетного смартфона Gionee F205 составляет 18:9: Gionee F205 базируется на SoC MediaTek MT67394

LG и Qualcomm будут вместе работать над технологиями для беспилотных автомобилей: Обе компании планируют возглавить цепочку поставщиков комплектующих для самоуправляемых автомобилей1

Представлена камера Samsung 360 Round, оснащенная 17 объективами: Samsung 360 Round поступит в продажу в октябре3

Samsung Bixby 2.0 — всё тот же голосовой помощник, но теперь нацеленный на более широкий спектр устройств: Samsung представила платформу Bixby 2.02

Gartner считает, что iPhone X подстегнет продажи в мобильной индустрии в 2018 году: Продажи мобильных телефонов увеличатся на 2,4% и составят 1,9 млрд единиц4

Samsung приступила к разработке Galaxy Note9, думая над расширением перечня возможностей S Pen: Напомним, в следующем году в линейке Galaxy Note может выйти первый смартфон компании со сгибающимся дисплеем21

В Китае Huawei Mate 10 выйдет уже завтра, пользователям предложат еще две версии: Huawei Mate 10 Pro и Huawei Mate 10 Porsche Design поступят в пролажу в середине ноября5

Смартфон HTC U11 Plus засветился в GFXBench и Geekbench: В Geekbench смартфон набрал 1920 и 5765 баллов в однопоточном и многопоточном тестах соответственно1

Представлен смартфон Nokia 7: SoC Snapdragon 630, защищенное исполнение и задняя панель под стеклом: Nokia 7 оценена в эквивалент $3808

Xiaomi Redmi Note 5 и Redmi 5 Plus будут представлены до 11 ноября: Более доступная модель Xiaomi Redmi 5 Plus получит Soc Snapdragon 450 и будет стоить около 120 долларов

Zotac GeForce GTX 1080 Ti ArcticStorm Mini — самая маленькая 3D-карта GeForce GTX 1080 Ti: 3D-карта Zotac GeForce GTX 1080 Ti ArcticStorm Mini оснащена водоблоком11

У побережья Шотландии заработала первая в мире плавучая ветряная электростанция: Hywind Scotland может обеспечить электричеством 20 000 домохозяйств47

Своя гарнитура смешанной реальности появилась и у Fujitsu: Новинка, названная Win MR, пока доступна для заказа только в Японии

LG V30 с честью выдержал испытания блогера JerryRigEverything: LG V30 сложно погнуть 14

В рейтинге Greenpeace компания Apple заняла второе место, а Samsung — третье, но с конца: Greenpeace оценила крупнейшие IT-компании 61

Модуль Moto Smart Speaker для смартфонов Moto Z оснащён парой стереодинамиков и поддерживает Amazon Alexa: Модуль Moto Smart Speaker оценили в 150 долларов1

Снимок безрамочного смартфона Meizu демонстрирует наличие кнопки mBack, несмотря на дисплей 18:9: Meizu выпустит безрамочный смартфон с физической кнопкой mBack8

997
1318

iXBT TV

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-A10 формата APS-C со сменными объективами

  • Планшеты для подводного чтения, дешевый безрамочный смартфон и автономная VR-гарнитура

  • Обзор 3D-принтера Funtastique Evo: дешевая, но вполне функциональная DIY-модель

  • Обзор робота-пылесоса Polaris PVCR 0920WV Rufer с функцией влажной протирки полов

  • Новинки Google на любой вкус: Pixel 2, Pixel 2 XL, Pixelbook, Clip, Home Mini и Max

  • Обзор водонепроницаемого бинокля Canon 10x42L IS WP с оптическим стабилизатором

  • Обзор компактного вертикального пылесоса Kitfort КТ-525

  • Обзор 15-дюймового игрового ноутбука MSI GE63VR 7RF Raider 4K с 4K-экраном

  • Ракета вместо самолета, умные AC Amazon, робот-мяч

  • Обзор парогенератора MIE Stiro Pro для глажки, отпаривания и уборки дома

  • Обзор изогнутого 37,5-дюймового IPS-монитора Acer XR382CQK с соотношением сторон 21:9

  • Обзор робота-полотера Everybot RS500

1212

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать