SPIE: 157 нм литография не за горами

1174

Несмотря на задержки с разработкой, 157 нм оборудование все же таки появится на рынке литографических инструментов. Такую надежду вселяют представленные на конференции SPIE Microlithography роадмэпы ведущих производителей литографических инструментов, в которых, значится 65 нм (0,065 мкм) техпроцесс к 2005 - 2006 годам.

157 нм сканеры были объявлены еще несколько лет назад, начало массовых поставок ожидалось в 2002 или 2003 году, но из-за технических проблем, обнаруженных при разработке 157 нм литографии, вендоры были вынуждены отложить начало поставок на 2004 - 2005 годы.

Одной из главных трудностей, вставшей перед 157 нм технологией, стало двойное лучепреломление во фториде кальция (CaF2), из которого изготавливаются линзы. Помимо этого, материала для изготовления качественных линз и фоторезиста сейчас явно недостаточно, что вряд ли способствует скорому началу поставок 157 нм сканеров. Имеются также прогнозы, что когда сканеры все же выйдут, то их стоимость "зашкалит" за $25 млн.

В это же время "большая тройка" изготовителей литографических инструментов: ASML, Canon и Nikon утверждает, что успешно преодолела стоящие перед ними трудности. Nikon планирует начать поставки 157 нм инструмента, который будет способен создавать чипы с размером элемента 65 нм при помощи двоичных фотошаблонов, и чипы с размером элемента 55 и 35 нм при помощи фазосдвигающих масок. Компания собирается начать поставки где-то во второй половине 2004 г.

Canon, в свою очередь, разрабатывает FS1, 157 нм сканер для обработки чипов с размером элемента 65 нм и меньше. Как и в инструменте Nikon, в сканере используется зеркально-оптический (или катадиоптрический) объектив, сводящий на нет негативный эффект двойного лучепреломления. Canon планирует начать поставки в конце 2004 или начале 2005 года.

ASML, в свою очередь, старается не отстать от японцев, разрабатывая 157 нм инструмент Micrascan VII. AMSL не сообщила, когда планирует начало поставок, но есть мнение, что поставки Micrascan VII также начнутся не раньше конца 2004 - начала 2005.

10 марта 2002 Г.

08:19

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

IBM снова отчиталась о снижении выручки, но на сей раз всего на 0,5%: IBM отчиталась за третий квартал 2017 года

Все больше владельцев машин считают Android Auto и Apple CarPlay обязательными системами : В опросе приняли участие 1503 американцев, 1607 европейцев и 2003 китайца

Системные платы с набором логики Intel Z270 всё-таки могут работать с CPU Coffee Lake. Но не будут: Причина несовместимости старых плат с новыми CPU Intel всё-таки кроется в маркетинге 7

В ноябре Samsung ждут большие перестановки в руководящем составе: Речь идет о ключевых лицах, Samsung Electronics, Samsung SDI, Samsung Electro-Mechanics, Samsung Life Insurance и Samsung Securities7

Оснащенный четырьмя камерами смартфон Huawei Mate 10 Lite уже доступен для заказа в Европе: Huawei Mate 10 Lite построен на SoC Kirin 659 и оснащен экраном диагональю 5,9 дюйма

Выпущено 90 млн камер Canon EOS и 130 миллионов объективов Canon EF: Производитель заверил, что и впредь намерен развивать семейство камер EOS и объективов EF

Samsung готовит ещё одну модель линейки Galaxy J2: Очередной аппарат линейки Galaxy J2 получит дисплей низкого разрешения

Razer обновила ноутбук Blade Stealth, оснастив его CPU Intel Core i7-8550U: Док-станция Razer Core v2 мало отличается от первой версии

Основными для экранов безрамочных смартфонов являются разрешения FHD+ и HD+: Переход к безрамочным экранам совпал с переходом к соотношению сторон 18:9

Antec P110 Luce — компьютерный корпус в минималистском исполнении за 120 евро: Antec P110 Luce поддерживает возможность вертикальной установки видеокарты2

Материнская плата ASRock X299E-ITX/ac для процессоров Intel в исполнении LGA 2066 представлена официально: ASRock X299E-ITX/ac оценена в $4003

В серию твердотельных накопителей Samsung 860 Evo войдут модели объемом до 4 ТБ: Твердотельные накопители Samsung 860 Evo замечены в базе данных SATA-IO10

Казахстан запустит платформу Stasis с первой криптовалютой, обеспеченной реальными деньгами: Stasis — финансово-технологическая инфраструктура для запуска нового цифрового актива5

Тестирование мобильных APU Ryzen показывает, что они вполне могут составить конкуренцию CPU Intel поколения Kaby Lake Refresh: APU Ryzen 7 2700U сравнили с CPU Core i7-8550U17

997
1318

iXBT TV

  • Планшеты для подводного чтения, дешевый безрамочный смартфон и автономная VR-гарнитура

  • Обзор 3D-принтера Funtastique Evo: дешевая, но вполне функциональная DIY-модель

  • Обзор робота-пылесоса Polaris PVCR 0920WV Rufer с функцией влажной протирки полов

  • Новинки Google на любой вкус: Pixel 2, Pixel 2 XL, Pixelbook, Clip, Home Mini и Max

  • Обзор водонепроницаемого бинокля Canon 10x42L IS WP с оптическим стабилизатором

  • Обзор компактного вертикального пылесоса Kitfort КТ-525

  • Обзор 15-дюймового игрового ноутбука MSI GE63VR 7RF Raider 4K с 4K-экраном

  • Ракета вместо самолета, умные AC Amazon, робот-мяч

  • Обзор парогенератора MIE Stiro Pro для глажки, отпаривания и уборки дома

  • Обзор изогнутого 37,5-дюймового IPS-монитора Acer XR382CQK с соотношением сторон 21:9

  • Обзор робота-полотера Everybot RS500

  • Гарнитура 8K VR, беспроводная революция, Яндекс в каждое авто

1212

Календарь

март
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать