SPIE: 157 нм литография не за горами

1174

Несмотря на задержки с разработкой, 157 нм оборудование все же таки появится на рынке литографических инструментов. Такую надежду вселяют представленные на конференции SPIE Microlithography роадмэпы ведущих производителей литографических инструментов, в которых, значится 65 нм (0,065 мкм) техпроцесс к 2005 - 2006 годам.

157 нм сканеры были объявлены еще несколько лет назад, начало массовых поставок ожидалось в 2002 или 2003 году, но из-за технических проблем, обнаруженных при разработке 157 нм литографии, вендоры были вынуждены отложить начало поставок на 2004 - 2005 годы.

Одной из главных трудностей, вставшей перед 157 нм технологией, стало двойное лучепреломление во фториде кальция (CaF2), из которого изготавливаются линзы. Помимо этого, материала для изготовления качественных линз и фоторезиста сейчас явно недостаточно, что вряд ли способствует скорому началу поставок 157 нм сканеров. Имеются также прогнозы, что когда сканеры все же выйдут, то их стоимость "зашкалит" за $25 млн.

В это же время "большая тройка" изготовителей литографических инструментов: ASML, Canon и Nikon утверждает, что успешно преодолела стоящие перед ними трудности. Nikon планирует начать поставки 157 нм инструмента, который будет способен создавать чипы с размером элемента 65 нм при помощи двоичных фотошаблонов, и чипы с размером элемента 55 и 35 нм при помощи фазосдвигающих масок. Компания собирается начать поставки где-то во второй половине 2004 г.

Canon, в свою очередь, разрабатывает FS1, 157 нм сканер для обработки чипов с размером элемента 65 нм и меньше. Как и в инструменте Nikon, в сканере используется зеркально-оптический (или катадиоптрический) объектив, сводящий на нет негативный эффект двойного лучепреломления. Canon планирует начать поставки в конце 2004 или начале 2005 года.

ASML, в свою очередь, старается не отстать от японцев, разрабатывая 157 нм инструмент Micrascan VII. AMSL не сообщила, когда планирует начало поставок, но есть мнение, что поставки Micrascan VII также начнутся не раньше конца 2004 - начала 2005.

10 марта 2002

08:19

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Толщина смартфона Sony Xperia XZ1 Compact составит почти 10 мм: Появилось видео со смартфоном Sony Xperia XZ1 Compact 27

Intel планирует выпуск набора системной логики B360: Набор системной логики Intel B360 будет представлен в 2018 году7

Ericsson уволит около 25 000 человек: Ericsson сократит почти четверть своего штата сотрудников13

Смартфон Asus ZenFone 4 Max Pro выделяется сдвоенной камерой и ёмким аккумулятором: Asus наделила ZenFone 4 Max Pro сдвоенной камерой10

Смартфоны Asus ZenFone 4 Selfie и ZenFone 4 Selfie Pro получили сдвоенные фронтальные камеры: Asus представила смартфоны ZenFone 4 Selfie и ZenFone 4 Selfie Pro1

Представлены смартфоны Asus ZenFone 4 и ZenFone 4 Pro : Asus представила семейство смартфонов ZenFone 47

Представлен смартфон Nokia 8: Оснащение Nokia 8 включает сдвоенную камеру с объективами Zeiss32

AMD выпустила драйвер, оптимизированный для добычи криптовалют : AMD поддержала майнеров специальным драйвером 24

Названа дата начала продаж и цена объектива Zeiss Milvus 1.4/35: Объектив Zeiss Milvus 1.4/35 выпускается в вариантах ZE и ZF.24

В корпусных вентиляторах Scythe Kaze Flex 120 применены подшипники Sealed Precision FDB: Вентиляторы Scythe Kaze Flex 120 оценены в 8 евро3

Умные часы Apple Watch 3 не получат совместимости с Android и возможности автономно совершать звонки : Умные часы Apple Watch 3 нельзя будет использовать с Android15

Цена компьютерного корпуса Phanteks Enthoo Evolv ITX Tempered Glass Edition зависит от его цвета: Боковая стенка компьютерного корпуса Phanteks Enthoo Evolv ITX Tempered Glass Edition изготовлена из закаленного стекла

Intel раскрыла параметры процессоров Core восьмого поколения на закрытой презентации: CPU Intel Core i7-8700 будет иметь TDP 65 Вт20

Почти все основные бесфабричные разработчики микросхем в прошлом квартале показали рост выручки: Лидером среди бесфабричных разработчиков ИС стала Broadcom Limited1

Анонсированы продажи объектива Voigtlander Ultron 40mm F2 SL IIS Aspherical: Цена объектива Voigtlander Ultron 40mm F2 SL IIS Aspherical примерно равна $5453

Sharp готовит ещё один безрамочный смартфон, который возродит идеи модели Aquos Crystal: Новый безрамочный смартфон Sharp не получит экран Free Form Display14

Цены на твердотельные накопители выросли на 20% с начала текущего года: Цены на SSD продолжают расти20

Опубликованы официальные изображения смартфона LG V30 и сравнение с предшественниками: Смартфон будет представлен в конце месяца13

Motorola запатентовала экран для смартфонов, который сможет восстанавливаться от трещин: Возможно, полимерное покрытие дисплея будет восприниматься на ощупь не так комфортно, как привычное стекло11

Ford запатентовала съемные педали и руль для своих будущих автомобилей: Стоит отметить, что пока что это только патент14

Безрамочный смартфон Umidigi S2 Pro получит 6 ГБ ОЗУ и аккумулятор емкостью 5100 мА•ч: Umidigi утверждает, что это первый безрамочный смартфон с таким высоким показателем автономности5

Финансовые показатели Cisco снизились: Cisco отчиталась за 2017 финансовый год11

Polaroid представила смартфоны Cosmo K и K Plus, а также планшет Jet C7: Цены не сообщаются2

Продажи смартфонов в Индии в прошлом квартале выросли всего на 1,6% : Лидером рынка Индии продолжает оставаться Samsung4

Масштабное отключение электричества на Тайване не отразилось на производстве новых смартфонов iPhone: Отключение света ощутили жители около 7 млн домов16

В США отзывают аккумуляторы для смартфонов Samsung Galaxy Note 4 из-за риска возгорания: Основанием для начала отзывной кампании послужил всего один случай перегрева, в ходе которого никто не пострадал59

По слухам, умные часы Apple Watch Series 3 поступят в продажу в сентябре: Аналитики уверены, что Apple Watch Series 3 с модемом LTE будут пользоваться большим спросом2

Опубликованы шпионские фото телевизора Apple [Обновлено]: По еще одной версии, это может быть не телевизор, а профессиональный монитор для пользователей Mac13

Анонс Xiaomi Redmi Note 5A намечен на 21 августа: На официальном изображении устройства, которое опубликовали в Weibo, мы видим доступные цветовые варианты1

В мониторе ViewSonic VP2785-4K установлена 27-дюймовая панель 4К типа IPS: Рекомендованная цена ViewSonic VP2785-4K — $120012

Компания Jawbone Health Hub собиралась сотрудничать с Microsoft, чтобы заполучить её корпоративных клиентов : Стали известны планы компании Jawbone Health Hub

29 августа MediaTek представит однокристальные системы Helio P23 и Helio P30 : SoC Helio P23 и Helio P30 анонсируют через две недели2

Galax Graphics Card Power Board — внешняя плата для экстремального разгона видеокарт, оснащённая 16-фазной подсистемой питания: Galax представила плату Graphics Card Power Board и стакан для жидкого азота5

Здравоохранение станет основным фактором роста рынка носимой электроники в ближайшем будущем: Рынок носимой электроники будет расти за счёт медицинских возможностей2

ВИКТОРИНА ASUSTOR

Процессор с какой архитектурой установлен в ASUSTOR AS6302T, благодаря которому производительно выросла на 30% по сравнению с прошлым поколением?
1318

iXBT TV

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

  • Обзор электрической скороварки Unit USP-1090D: готовим под давлением

  • Обзор материнской платы Gigabyte GA-Z270-Gaming K3 c возможностью подъема напряжения на USB-портах

1212

Календарь

март
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать