Toshiba готовит 80-нм электронную литографию

ПредыдущаяСледующая
1174

Пока весь мир с нетерпением ждет запуска 90-нм технологического процесса, Toshiba и трое ее партнеров, Tokyo Electron, Ebara и Dai Nippon Screen, объявили о начале совместной разработки 80-нм электронной литографической системы, использующей низкоэнергетические пучки электронов и не требующей дорогих фотомасок.

Toshiba сообщает, что уже исследовала возможность создания 100-нм и 80-нм литографического рисунка на поверхности полупроводника с помощью пучков электронов с энергией 2 КэВ, что не так уж и много для промышленности. Вместе три компании собираются основать корпорацию E-Beam, которая и займется производством литографического оборудования.

У электронной литографии есть свои преимущества: достаточно высокое разрешение и невысокая стоимость, но есть и серьезный недостаток – малая производительность. При текущем уровне развития этой технологии на обработку одной полупроводниковой пластины уходит примерно три часа.

Как отмечает один из разработчиков технологии, до тех пор, пока не станет возможным обрабатывать 10 и более пластин в час, говорить о перспективности коммерческого использования технологии нельзя. Впрочем, Toshiba разрабатывает электронную литографию уже около 20 лет, к тому же теперь у нее появились партнеры, так что глядишь, сообща они и добьются результатов.

20 сентября 2002 Г.

18:34

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Компания Intel анонсировала выпуск своего первого модема 5G: Одновременно был представлен модем LTE Cat-19, получивший обозначение Intel XMM 766022

Jaguar Land Rover начинает испытания самоуправляемых машин на дорогах общего пользования: Испытания будут продолжены в будущем году3

Компания Megabots хочет провести первый в мире турнир по боям огромных роботов: В следующем году может быть проведёт первый турнир по боям гигантских роботов4

Видео дня: робот Boston Dynamics Atlas делает сальто назад: Робот Boston Dynamics Atlas научился запрыгивать на препятствия31

Смартфон Samsung Galaxy J2 Pro в новом поколении наконец-то получит современную платформу: Стали известны детали о смартфонах Samsung Galaxy J2 Pro и Galaxy J5 Prime нового поколения21

Volkswagen собирается выделить на электромобили и самоуправляемые машины более 34 млрд евро: Общая сумма инвестиций на период до 2022 года примерно равна 72 млрд евро6

Китай намерен создать космический корабль с ядерным двигателем: Ядерные космические корабли могут стать реальностью79

PowerColor похвасталась изображениями видеокарты Radeon RX Vega 64 Red Devil: Radeon RX Vega 64 Red Devil получит 12-фазную подсистему питания11

Набор модулей памяти G.Skill Trident Z DDR4-4400 суммарным объемом 32 ГБ работает с задержками CL19-19-19-39: По словам производителя, это самый быстрый набор DDR4 такого объема6

997
1318

iXBT TV

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Active (FC8822/01) с широкой насадкой TriActive XL

  • Обзор видеокамеры Canon XF405: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров

1212

Календарь

сентябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать