1220

International EUV Symposium: Intel о коммерциализации EUV. CaF по-прежнему дороже золота

1174

Питер Сильверман (Peter Silverman), глава подразделения Intel по капитальному литографическому оборудованию и один из участников международного симпозиума по вопросам внедрения и разработки EUV (extreme ultraviolet) оборудования - International EUV Symposium, в своей программной речи поделился своими соображениями по поводу перспектив внедрения EUV оборудования. Вот краткие тезисы:

  • Прежде чем говорить о коммерческом использовании EUV оборудования, EUV сканерам необходимо достичь производительности порядка 120 пластин в час. Сегодняшние прототипы имеют пиковую производительность обработки до 90 пластин в час, а с учетом времени на сервисное обслуживание – около 60 пластин в час

  • Индустрии была бы желательна цена EUV сканеров на уровне $20 млн. за штуку, между тем, эксперты ожидают ценового уровня в $50 млн. и даже выше. Помимо этого, стоимость фотомасок также неизмеримо возрастает

  • Начало коммерческой эксплуатации EUV систем ожидается в 2007 году, когда Intel и другие компании планируют перейти на нормы производства с узлами порядка 45 нм. Таким образом, готовые EUV бета-установки должны появиться в 2005 году

  • Оптимизм по поводу успешного продвижения разработки EUV литографического оборудования с 13,5 нм лазерами несколько омрачается ухудшением общей экономической ситуации в мире. Не исключено, что к моменту появления готовых EUV систем некоторые производители процессоров и памяти не смогут позволить себе покупку такого оборудования

  • По предварительным прикидкам, работа с нормами 45 нм техпроцесса потребует применения EUV литографии для четырех критичных слоев масок, для работы с остальными 11 слоями может с успехом использоваться 193 нм оборудование и даже в некоторых случаях 248 нм сканеры

  • Главная задача Intel – отладить EUV оборудование для обработки критических величин 45 нм техпроцесса. Предположительно, с этим техпроцессом будет использоваться 157 нм оборудование, хотя, возможно, удастся обойтись лишь 193 нм инструментами

  • Следующее поколение - технологический процесс с нормами 32 нм, внедрение которого ожидается в Intel в 2009 году, потребует применения EUV сканеров и масок для обработки девяти слоев. Вполне возможно. что индустрия обойдется без внедрения инструментов поколения 157 нм (Сильверман выразился так: "высококачественный фтористый кальций [необходимый для оптических систем 157 нм оборудования] до сих пор гораздо дороже золота"). Лишь 10% 193 нм сканеров, поставки которых уже начались, оборудованы оптикой на основе фторида кальция. В то же время ожидается, что в силу технологических особенностей, 157 нм сканеры все до единого будут оборудованы такой оптикой

  • EUV системы с высокой производительностью потребуют внедрения более мощных лазеров. Нынешние лучшие образцы ксеноновых лазеров имеют мощность порядка 10 Вт, в то время как требуется мощность порядка 100 и более ватт

  • Еще одной нынешней проблемой, стоящей на пути внедрения EUV установок, является недостаточная чувствительность резистов. Коммерческое внедрение EUV требует разработки фоторезистов с чувствительностью на уровне 2 мДж

  • В настоящее время единственным поставщиком EUV бета-систем является ASML, однако, японские Canon и Nikon также обещают начало поставок своих прототипов к 2005 году

17 октября 2002 Г.

15:48

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Аналитики Barrons считают, что к 2022 году Nintendo удастся реализовать 130 млн консолей Switch: Nintendo Switch за пять лет может разойтись тиражом в 130 млн устройств3

Дисплей смартфона Samsung Galaxy S8 Active поцарапать также легко, как и экран Moto Z2 Force: Samsung Galaxy S8 Active получил пластиковую защиту экрана22

Смартфон iPhone 5s с iOS 11 работает медленнее, чем с iOS 10.3.3: После обновления до iOS 11 смартфон iPhone 5s работает медленнее 69

Опубликована фотография смартфона Huawei Mate 10: Над экраном можно увидеть вырез громкоговорителя, фронтальную камеру и несколько сенсоров24

Системные платы с набором логики Intel Z370, вероятно, несовместимы с CPU Kaby Lake: CPU Kaby Lake не будут работать на платах с чипсетами Intel Z30019

Ни у одной компании, кроме Asus, пока нет готовых к запуску нереференсных видеокарт Radeon RX Vega: Некоторые партнёры AMD ещё не начали получать GPU Vega для создания нереференсных карт13

Около месяца ПО CCleaner содержало вредоносный код, которым заразило более 2 млн ПК: ПО CCleaner v5.33 содержит вредоносный код12

Платёжный сервис Huawei Pay может появиться и в США: Huawei может запустить в США сервис Huawei Pay и смартфон Mate 107

Репутация Samsung все же пострадала: Это доказывает, что репутация, которая зарабатывается годами, может пострадать в мгновение ока39

Опубликованы характеристики планшета Samsung Galaxy Tab Active 2 : Источники говорят о степени защиты IP688

На долю Apple Watch Series 3 с модемом LTE приходится 80-90% предзаказов: Мин-Чи Куо уверен, что Apple Watch Series 3 смогут существенно улучшить показатели всей индустрии умных часов в этом году39

Опубликованы «живые» фотографии смартфона Gionee M7: Анонс Gionee M7 ожидается 28 сентября

Видеорегистратор Azdome GS63H позволяет записывать видеоролики разрешением 2880 х 2160 пикселей: Цена устройства составляет около 90 долларов4

Один из двух новых смартфонов Oukitel, экран которого имеет соотношение сторон 18:9, стоит всего $60: Смартфон уже успели окрестить «следующим убийцей»14

Камера наблюдения Yi Smart Outdoor Camera с системой сигнализации и классом защиты IP65 оценена в $44: При условии наличия подключения к Сети камера позволяет вести непрерывную запись в течение 30 дней, сохраняя данные в облако9

Опубликованы изображения смартфона Nokia 9 : Экран AMOLED имеет диагональ от 5,3 до 5,5 дюйма при разрешении 2560 х 1440 пикселей15

Micromax HS3 — бюджетный смартфон с соотношением сторон 18:9 и хорошими камерами: Основная камера имеет разрешение 16 Мп, а фронтальная оснащена 20-мегапиксельным датчиком изображения2

Фотографии упаковки Vivo X20 подтверждают характеристики смартфона: Анонс новинки ожидается 21 сентября1

405
1318

iXBT TV

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C7030 формата A3

  • Обзор аккумуляторного секатора Stihl HSA 25 со сменными ножами

  • Начало новой эры? Чем iPhone X отличается от iPhone 8

  • Обзор полнокадровой зеркальной фотокамеры Nikon D850

  • Обзор робота-пылесоса Unit UVR-8000 с функцией протирки гладких полов

  • Смартфон с отличной камерой, мышь с трэкболом, электромобили будущего

  • Обзор российского смартфона Inoi R7 на операционной системе Sailfish OS 2

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Compact (FC8776/01) уменьшенной высоты

  • Мышь для точной стрельбы HyperX Pulsefire FPS + обзор коврика для мыши HyperX Fury S

  • Новости IFA: флагманский LG V30, первые беспроводные наушники B&O, умные часы Samsung

  • Новости IFA: cамый тонкий моноблок, игровой монитор на 200 Гц

  • Обзор зеркальной фотокамеры Nikon D7500 среднего уровня

1212

Календарь

октябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать