Несмотря на слухи о сворачивании деятельности, подразделение Semiconductor Equipment Division компании Canon сообщает о том, что уже во второй половине 2003 года начнутся поставки 157-нм сканеров.
Основные характеристики сканера FPA-5800FS1:
- Числовая апертура: 0,80
- Масштаб: 1 к 5
- Размер рабочей области 22х26 мм
- Длина волны источника света: 157 нм
- Размер пластины: 200 мм или 300 мм