157-нм литография vs. EUV: спор еще не завершен…

1174

В прошлую пятницу корпорация Intel сообщила о принятии решение исключить использование 157-нм литографических инструментов из своего роадмэпа. Решение компании подняло целую бурю протестов и возмущения, отчасти из-за того, что именно Intel в свое время стимулировала многих инвестировать в разработку 157-нм инструментов.

Свое мнение высказал Аллен Боулинг из Texas Instruments: «мы согласны с тем, что многие промышленники скорее всего пожелают продлить жизненный цикл своих 193-нм инструментов вплоть до 45-нм норм, исходя из экономической целесообразности. В то же время мы не разделяем скептицизма Intel по поводу перспектив применения 157-нм сканеров, ведь в свое время и 193-нм литографии пророчили применимость только к одним нормам, однако размер элемента с тех пор уменьшился на порядок». По мнению Боулинга, Intel поступает рискованно, «преждевременно сложив все яйца в одну дорогую корзину», считая, что вряд ли EUV-литография будет готова для 32-нм норм ранее 2009 года, в то время как Intel планирует начать производство уже к 2007 году.

И в том, и в другом случае, потребуются значительные усовершенствования: улучшение оптики для 193-нм оборудования, отработка технологий EUV. Как считают в Motorola, для промышленников, конечно же, более привлекательно выглядит проверенная технология, каковой 157-нм литографию назвать, увы, нельзя. Таким образом в Motorola разделяют мнение, что промышленникам будет легче работать с 193-нм. Аналогичные соображения высказали и в TSMC, не скрывая своей радости по поводу того, что 193-нм инструменты будут использоваться еще длительное время.

В этой ситуации хуже всех придется разработчикам сканеров и степперов. Компании уже потратили не один год на разработку весьма дорогостоящих проектов, и теперь в одночасье лишись своего крупнейшего клиента, который наверняка утянет и многих других. Впрочем, у разработчиков и производителей литографических инструментов осталась надежда на иммерсионную литографию, то есть литографию при погружении в жидкость, позволяющую продлить жизненный цикл литографических инструментов еще больше. При этом, если 193-нм сканеры смогут работать в областях, где ранее предполагалось использование 157-нм литографии, то 157-нм литография сможет конкурировать с EUV, по крайней мере, вплоть до 22 нм. Так что спор о том, что предпочесть для норм менее 45 нм еще не завершен.

26 мая 2003

13:11

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Представлена операционная система Android 8.0 Oreo : Google представила Android Oreo17

Nikon сосредоточится на поддержке в камерах видео 8K : Другой приоритет — выпуск медицинского оборудования17

В конфигурацию ноутбука Acer Nitro 5 Spin входит процессор Intel Core восьмого поколения: Продажи новинки должны начаться в октябре, по цене $9994

Серия массивов твердотельных накопителей IntelliFlash N пополнила каталог Tegile Systems: Производитель называет IntelliFlash N первым унифицированным массивом NVMe корпоративного класса

TowerJazz и Tacoma Semiconductor Technology договорились построить фабрику в Китае: Израильская компания поделится опытом, Tacoma Semiconductor Technology возьмет на себя расходы1

Новому смартфону Apple iPhone приписывают способность распознать лицо пользователя «за миллионные доли секунды»: Кроме того, 3D-сканер будет использоваться в приложениях дополненной реальности34

DockCase — чехол и стыковочная станция для ноутбука Apple MacBook Pro: Минимальный взнос, позволяющий надеяться на получение DockCase в ноябре 2017 года, равен $794

Представлен смартфон Xiaomi Redmi Note 5A, который оснастили 16-мегапиксельной фронтальной камерой : Xiaomi Redmi Note 5A оценён в 135 долларов 3

Системная плата Asus B250 Expert Mining оснащена 19 слотами расширения PCIe и тремя 24-контактными разъемами питания: Системная плата Asus B250 Expert Mining предназначена для добычи криптовалют13

Inno3D будет снимать с гарантии видеокарты, повреждённые в процессе майнинга : Inno3D не будет ремонтировать или менять видеокарты майнеров13

34% всех оплат в США к 2022 году будут проведены бесконтактным способом : Бесконтактные методы проведения платежей будут набирать популярность 31

Cisco приобретает компанию Springpath за 320 млн долларов: Покупка Springpath обойдётся Cisco в 320 млн долларов2

Глобальный запуск голосового помощника Samsung Bixby может состояться уже завтра: Завтра Samsung может запустить Bixby во многих странах мира3

Смартфон Samsung Galaxy A5 Pro может получить больше оперативной памяти, чем международная версия Galaxy S8: Samsung Galaxy A5 Pro будет основан на SoC Snapdragon 660

Старшая модификация смартфона Samsung Galaxy Note8 в Китае будет стоить около 1200 долларов: В Китае за Samsung Galaxy Note8 будут просить до 1200 долларов19

Появилось первое изображение объектива Olympus M.Zuiko Digital 17mm F1.2 Pro [Обновлено]: Новый объектив будет представлен одновременно с камерой Olympus OM-D E-M10 Mark III13

Рынок технологий обработки естественной речи к 2025 году достигнет 22,3 млрд долларов: Аналитики Tractica прогнозируют быстрый рост рынка технологий обработки естественной речи 6

Представлена видеокарта Asus ROG Strix RX VEGA64 OC Edition: Asus анонсировала 3D-карту ROG Strix RX VEGA64 OC Edition2

Рынок DRAM во втором квартале 2017 года достиг 16,51 млрд долларов, доля Samsung превысила 46%: По сравнению с первым кварталом рынок DRAM вырос на 17%12

Опубликованы «живые» фото смартфона Motorola Moto X4: Ожидается выпуск двух вариантов устройства2

Представлены процессоры Intel Core восьмого поколения, в рамках которого компания выпустит три различных семейства CPU: В восьмое поколение CPU Intel Core войдут решения Kaby Lake Refresh, Coffee Lake и Cannonlake 34

Фотогалерея дня: «шпионские» снимки компонентов смартфона Apple iPhone следующего поколения: Анонс смартфона Apple iPhone следующего поколения ожидается этой осенью36

Qualcomm расширяет сотрудничество с TSMC и другими тайваньскими компаниями: В числе партнеров Qualcomm названы Acer, Foxconn Electronics, Compal Electronics и Wistron

Карты памяти Adata ICFS314 соответствуют спецификациям CFast 2.0: Карты памяти Adata ICFS314 выпускаются объемом от 32 до 512 ГБ

Появились сведения о цене устройства Samsung Gear Fit2 Pro: Предположительно, умный браслет Samsung Gear Fit2 Pro будет представлен 23 августа

Процессоры Intel Core восьмого поколения будут заметно производительнее своих предшественников: Первые ноутбуки на процессорах Intel Core восьмого поколения должны появиться на рынке в сентябре58

В Samsung Galaxy Note 8 не будут использоваться аккумуляторы ATL: Специалисты не ожидают, что такое положение вещей нанесет сильный удар по ATL1

Гарнитура виртуальной реальности HTC Vive подешевела до $599: Гарнитура конкурентов Oculus Rift стоит на 100 долларов меньше

Появились первые сведения о GPU AMD Radeon Vega 8 Mobile и Radeon Vega 10 Mobile: Графические процессоры AMD Radeon Vega Mobile интегрированы в APU Raven Ridge 12

Смартфон Meizu M6 Note с SoC Snapdragon 625 замечен в базе данных Geekbench: Анонс Meizu M6 Note намечен на 23 августа1

Смартфон Meiigoo S8+ получит изогнутый дисплей и 8 ГБ ОЗУ: Что-то подсказывает, что в плане дизайна он будет похож на флагман южнокорейской компании Samsung3

Основная часть стартовой партии SoC Snapdragon 845 будет предназначена для Samsung Galaxy S9: Стоит констатировать, что по сути речь идет о повторении ситуации, которая наблюдалась весной этого года с SoC Snapdragon 8353

Названы даты начала приема предварительных заказов и начала отгрузки смартфонов Samsung Galaxy Note8: Анонс Samsung Galaxy Note8 ожидается 23 августа14

АС Google Home научилась воспроизводить музыку по Bluetooth : Функциональность работает в тестовом режиме, поэтому в некоторых случаях наблюдается прерывание воспроизведения3

Huawei распродает запасы смартфонов Mate 9, готовясь к анонсу Mate 10: Huawei Mate 9 Pro с 4 ГБ ОЗУ и 64 ГБ флэш-памяти в данный момент подешевел почти на 150 долларов 2

Uber может возглавить бывший директор General Electric: Uber сузила круг потенциальных руководителей компании до трех человек2

Инженер Samsung утверждает, что концепт смартфона Xiaomi Mi Mix 2 не может быть реальностью: Источник также сообщает, что соотношение сторон дисплея Xiaomi Mi Mix 2 сменится с 17:9 на 18:93

Ограниченная серия консолей Project Scorpio будет стоить столько же, сколько и Xbox One X: В продажу Project Scorpio и обычная версия Xbox One X поступят 7 ноября 2017 года5

Смартфон Xiaomi A1, выпущенный в рамках программы Android One, будет основан на модели Mi 5X: Xiaomi готовит смартфон A19

Мобильные процессоры Core i5 и Core i7 линейки Coffee Lake-U будут четырёхъядерными: CPU Core i5-8250U будет иметь четыре ядра3

Появилось первое изображение новой модели умного термостата Nest: Эван Блэсс опубликовал изображение нового термостата Nest9

Рекомендуем почитать