Главная » Новости » 2003 » 05 » 30 30 мая 2003

Philips поможет Mapper в разработке технологии безмасочной литографии

Philips сообщает о заключении соглашения с голландской компанией Mapper Lithography о разработке инструментов для безмасочной литографии. По условиям соглашения, Philips Enabling Technologies Group построит производственную линию по технологии Mapper.

Основанная в прошлом году, Mapper поставила перед собой сложную и амбициозную задачу разработать технологию нанесения рисунка на подложку без использования масок и в то же время достаточно скоростную. Свою технологию Mapper планирует начать использовать на 45-нм нормах и ниже. Ожидается, что технология Mapper будет готова к концу 2005 или началу 2006. Из обнародованных технических деталей известно, что в системе будет использовано 13000 источников света. Кстати, именно поэтому компания и получила название Mapper (Multi-Aperture Pixel-by-Pixel Enhancement of Resolution).

Результаты научных исследований и технические решения, лежащие в основе Mapper, были представлены на этой неделе на конференции 3BEAMS в Тампе, штат Флорида, США. Продемонстрированный прототип системы, использующей множественные источники света, способен создавать элементы размером от 150 до 50 нм. При этом размер оптической части установки, в которой находится те самые 13000 линз, составляет 26х10х20 см. Работает установка следующим образом: объектив создает 13000 световых пятен между двумя проводящими пластинами, к которым приложена разность потенциалов. Надо полагать, что в результате ионизации подложки в результате фотоэффекта в сфокусированном световом луче происходит ускорение ионов по направлению к пластинам, приводящее к возникновению литографического рисунка. В настоящее время размер пятна равен в среднем 80-нм. Разработчики надеются, что им удастся уменьшить размер пятна до 30–нм.

В заключение отметим, что кроме Mapper над безмасочной литографией в настоящее время работают Canon, E-Beam, Leica Microsystems, а также ASML (некогда подразделение Philips) и Micronic Laser Systems.

Источник: PC Watch

17:42 30.05.2003
Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



май
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2003

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.