Главная » Новости » 2003 » 06 » 19 19 июня 2003

SlimCell: система для создания проводников в 65-нм чипах от Applied Materials

Applied Materials представила электрохимическую систему SlimCell, предназначенную для нанесения проводящих покрытий в чипах, изготавливаемых по 65-нм нормам и менее.

Вместо использования одной емкости с химически активным веществом в технологии SlimCell используется несколько, что позволяет реализовать многоступенчатый процесс нанесения покрытий. Как утверждается, многоступенчатый процесс позволяет оптимизировать равномерность зазоров и планарность проводников на нормах менее 90 нм. При этом компания уверяет, что стоимость процесса почти в два раза ниже, чем у использующихся ныне традиционных подходов.

В системе SlimCell также имеется возможность обработки фасок (bevel clean), чистки и сушки (Spin-Rinse-Dry) и отжига (annealing), применяемых для снижения количества дефектов.

09:08 19.06.2003
Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



июнь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2003

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.