Главная » Новости » 2003 » 07 » 08 8 июля 2003

Nikon и Tokyo Electron объединяют усилия в разработке иммерсионной литографии

В рамках развития своего роадмэпа по выпуску литографических инструментов, Nikon объявила о заключении соглашения с другой японской компанией, Tokyo Electron (TEL), о совместной разработке так называемой иммерсионной (или по другому, жидкостной) технологии.

Согласно договору, компании планируют объединить усилия в разработке технологии иммерсионной литографии с целью продления технологического ресурса 193 нм экспозиционных систем. Помимо этого, соглашение подразумевает совместную работу Nikon и TEL с поставщиками новых типов фоторезистов.

В самых ближайших планах компаний – завершение к концу 2003 года сверки уже разработанных элементов устройств иммерсионной литографии и переход к стадии массового производства по мере готовности новой технологии.

Подробнее о технологии иммерсионной литографии можно почитать здесь:

10:25 08.07.2003
Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2003

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.