Как сообщили источники, Canon, возможно, собирается продлить жизненный цикл 248-нм литографических сканеров в область норм менее 100 нм благодаря внедрению новой технологии, использующей разность оптических фаз.
Canon обнародовала некоторые детали своего исследования, посвященного технике использования двух масок вместо одной и дополнительного этапа экспозиции. Утверждается, что 248-нм сканеры можно будет использовать для изготовления проводников размером вплоть до 70 нм. Проводники, правда, получаются немного эллиптичными, но этот недостаток подлежит частичной или полной коррекции.