На прошедшей неделе в рамках мероприятия 2009 Symposium on VLSI Technology компания GlobalFoundries рассказала об успехах в освоении новых технологических высот.
Была представлена разработка, которая, как утверждается, позволила специалистам компании уменьшить эквивалентную толщину слоя оксида (equivalent oxide thickness, EOT) в транзисторе с применением диэлектрика с высокой диэлектрической постоянной и металлическим затвором (HKMG). Участникам симпозиума были продемонстрированы результаты работы в виде транзисторов n-MOSFET с EOT 0,55 нм и транзисторов p-MOSFET с EOT 0,7 нм. Это соответствует возможности масштабирования HKMG-транзисторов до норм 22 нм и менее.
Компания GlobalFoundries, образованная отделением от AMD, имеет производственные мощности в Германии и планирует строительство нового производства с США. Строительство фабрики, рассчитанной на обработку 300-миллиметровых пластин, обойдется компании в 4,5 млрд. долл. Ввод в строй мощностей с начальной производительностью 35000 пластин в месяц намечен на 2012 год.
Унаследовав место AMD в технологическим альянсе, GlobalFoundries разрабатывает новые технологии совместно с IBM. Ожидается, что GlobalFoundries начнет выпуск HKMG-продукции с соблюдением норм 32 нм во второй половине текущего года, несколько раньше других производителей, участвующих в альянсе. Массовый выпуск по указанной технологии должен быть развернут в первой половине 2010 году.
Источники: GlobalFoundries, EE Times